[发明专利]柔性有机电致发光器件及其制备方法有效
| 申请号: | 201110098196.9 | 申请日: | 2011-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN102751440A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
| 发明(设计)人: | 周明杰;王平;冯小明;陈吉星 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
| 地址: | 518100 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【技术领域】
本发明涉及电致发光领域,尤其涉及一种柔性有机电致发光器件及其制备方法。
【背景技术】
有机电致发光(Organic Light Emission Diode),简称OLED,具有亮度高、材料选择范围宽、驱动电压低以及全固化主动发光的特性,同时拥有高清晰、广视角以及响应速度快的优势,符合信息时代移动通信、信息显示的发展趋势,以及绿色照明技术的要求,是目前国内外众多研究者的关注重点。
为了扩大OLED的应用范围,国内外众多研究者开发出了柔性OLED,这种由聚合物薄膜,金属箔片,或超薄玻璃等材料为衬底制作的OLED,具有可弯曲的特性,相对于普通的玻璃衬底,耐冲击性能好,并且非常轻便,非常适用于一些便携式,挠曲性照明显示。
通常采用聚合物薄膜作为衬底制作的阳极,是在其表面通过溅射工艺覆盖一层透明导电薄膜如ITO,IZO,然而这些导电薄膜在柔性OLED的应用上也存在诸多难以克服的问题。例如在制备ITO薄膜的过程中,各种元素如铟(In),(Sn)的掺杂比例组成不易控制,导致ITO薄膜的形貌,载流子和传输性能难以控制,导致发光器件的性能不稳定。其次,在柔性衬底上制备ITO等导电薄膜时,由于聚合物薄膜的耐热性能不佳,制备导电薄膜通常采用低温溅射技术,所制备的导电薄膜表面电阻高,薄膜与衬底的结合力不强,使得柔性OLED在反复弯曲的过程中容易发生导电薄膜从衬底脱落的情况,影响OLED发光装置的发光稳定性。
采用蒸镀工艺能够避免高温对衬底的破坏,但是ITO,IZO等薄膜目前无法采用蒸镀工艺制作,于是众多研究者开始采用Ag、Al等材料制作阳极,但是Ag、Al等材料制作阳极时,制作厚度在60~100nm范围才能达到好的导电性,而此时阳极的透过率几乎为零,因此只能制备单面出光的柔性OLED。
【发明内容】
基于此,有必要提供一种双面出光的柔性有机电致发光器件及其制备方法。
一种柔性有机电致发光器件,包括依次层叠的聚合物薄膜衬底、阳极、有机电致发光层和阴极;
所述阳极包括第一铝层、氧化物层和第一银层,所述第一铝层设置在所述聚合物薄膜衬底上;在所述第一铝层与第一银层之间设置有氧化物层,所述第一铝层厚度为6~15nm,所述氧化物层厚度为3~10nm,所述第一银层厚度为8~20nm;所述阴极厚度为18~30nm。
优选的,所述氧化物层材质为MoO3、WO3、V2O5中的至少一种。
优选的,所述阴极材质为铝、金、银、钙、镁、镁铝合金或镁银合金。
优选的,还包括设置在所述有机电致发光层与所述阴极之间的第二铝层,所述第二铝层厚度为0.5~1nm。
优选的,所述阳极还包括:材质为Ag2O的绝缘层,所述绝缘层设置在所述第一银层和所述有机电致发光层之间。
优选的,所述聚合物薄膜衬底的材质为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚萘二甲酸乙二醇酯、透明聚酰亚胺、环烯烃共聚物、聚碳酸酯或聚乙烯,所述聚合物薄膜衬底厚度为0.1~0.5mm。
一种柔性有机电致发光器件的制备方法,包括如下步骤:
步骤一、提供聚合物薄膜衬底;
步骤二、利用真空镀膜系统,在所述聚合物薄膜衬底表面依次蒸镀第一铝层、氧化物层和第一银层,形成包括所述第一铝层、所述氧化物层和所述第一银层的阳极;其中,所述第一铝层厚度为6~15nm,所述氧化物层厚度为3~10nm,所述第一银层厚度为8~20nm;
步骤三、在所述阳极上蒸镀有机电致发光层;
步骤四、在所述有机电致发光层上蒸镀厚度为18~30nm的阴极。
优选的,步骤二中,所述氧化物层材质为MoO3、WO3、V2O5中的至少一种。
优选的,步骤二还包括:在所述聚合物薄膜衬底表面形成所述阳极后,将所述聚合物薄膜衬底和所述阳极移出所述真空镀膜系统,在紫外灯下照射20~120s,使得所述第一银层表面被氧化,形成材质为Ag2O的绝缘层。
优选的,还包括在步骤三之后,在步骤四之前,在所述有机电致发光层上蒸镀厚度为0.5~1mm的第二铝层的步骤。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





