[发明专利]一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法

权利要求书

1.一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，以上方法的实施步骤中包括：以TCO玻璃为原片、制备减小TCO玻璃与太阳能电池层接触电阻的缓冲层，其特征在于：本方法中的缓冲层是由沉积在TCO玻璃原片上的第一掺铝氧化锌膜层、以及沉积在第一掺铝氧化锌膜层上的第二掺铝氧化锌膜层组成的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层，所说的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层中，所说的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层中：

第一掺铝氧化锌(AZO)膜层中，Al₂O₃的含量为1～3％，其余是氧化锌，膜层厚度为800～1200nm；

第二掺铝氧化锌(AZO)膜层中，Al₂O₃的含量为2～6％，其余是氧化锌，膜层厚度为10～100nm。

2.根据权利要求1所述的一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，其特征在于：所述的双层掺铝氧化锌(AZO)膜层是借助磁控溅射设备沉积在TCO玻璃上的，其中各工艺参数分别是：

TCO玻璃原片的温度为150～350℃，本体真空度为小于1×10^-5Pa，溅射气压为2～5mTorr，通入的工艺气体是Ar和O₂、体积比是：Ar为94～96％，O₂为4～6％，沉积双层掺铝氧化锌(AZO)膜层所用的靶材均是掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶，溅射第一层掺铝氧化锌(AZO)膜层所需的陶瓷靶材中，Al₂O₃的含量为1～3％，溅射第二层掺铝氧化锌(AZO)膜层所需的陶瓷靶材中，Al₂O₃的含量为2～6％。

3.根据权利要求1所述的一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，其特征在于：第一掺铝氧化锌(AZO)膜层中，Al₂O₃的含量优选为1.8～2.2％。

4.根据权利要求1所述的一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，其特征在于：第二掺铝氧化锌(AZO)膜层中，Al₂O₃的含量优选为3～5％。

5.根据权利要求1所述的一种降低薄膜太阳能电池内阻的方法，其特征在于：第一掺铝氧化锌(AZO)膜层厚度优选为950～1050nm。