[发明专利]镀膜件及其制备方法

权利要求书

1.一种镀膜件，其包括基材及形成于基材表面的复合层，其特征在于：该复合层包括氧化锌层和氧化钛层，所述氧化锌层与所述基材直接相结合；所述氧化钛层中颗粒的粒径为0.5~1μm，且氧化钛层的颗粒上附着有粒径为8~20nm的球状突起。

2.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：该基材的材质为玻璃或不锈钢。

3.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：该氧化锌层的厚度为1~2μm。

4.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：该氧化锌层中颗粒的粒径为30~80nm。

5.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：该氧化钛层的厚度为300~700nm。

6.如权利要求1所述的镀膜件，其特征在于：该复合层呈现蓝色，其于CIE Lab表色系统显示的L*坐标介于15~18之间，a*坐标介于11~16之间，b*坐标介于-37~-42之间。

7.一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：

提供基材；

采用溅射法在该基材的表面形成金属锌层；

对金属锌层进行热氧化处理形成氧化锌层；

采用溅射法在该氧化锌层的表面形成金属钛层；

对该金属钛层进行热氧化处理形成氧化钛层，所述氧化锌层和氧化钛层形成一复合层，该氧化钛层中颗粒的粒径为0.5~1μm，且氧化钛层的颗粒上附着有粒径为8~20nm的球状突起。

8.如权利要求7所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：所述基材为不锈钢或玻璃。

9.如权利要求7所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：形成所述金属锌层的具体工艺参数为：使用锌靶，锌靶的功率为2.5~4kW，以氩气为工作气体，氩气流量为200~500sccm，溅射温度为50~100℃，施加于基材的偏压为0~-100V，镀膜时间为60~120min。

10.如权利要求7所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：所述热氧化处理金属锌层的工艺参数为：氧气流量为100~300sccm，处理温度为400~600℃，处理时间为30~60min。

11.如权利要求7所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：该氧化锌层中颗粒的粒径为30~80nm。

12.如权利要求7所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：形成所述金属钛层的具体工艺参数为：使用钛靶，设定钛靶的功率为3~4kW，施加于基材的偏压为-100~-200V，溅射温度为80~150℃，以氩气为工作气体，氩气流量为150~300sccm，镀膜时间为30~60min。

13.如权利要求7所述的镀膜件的制备方法，其特征在于：所述热氧化处理金属钛层的工艺参数为：氧气流量为80~200sccm，处理温度为400~600℃，处理时间为30~60min。