[发明专利]一种金属缓蚀剂组合物和金属缓蚀剂及其应用

权利要求书

1.一种金属缓蚀剂组合物，其特征在于，所述金属缓蚀剂组合物含有水溶性无机锌盐、有机膦化合物、无机磷化合物、聚环氧琥珀酸、聚丙烯酰胺系聚合物和葡萄糖酸盐，所述聚丙烯酰胺系聚合物含有如式(I)所示的结构单元，所述水溶性无机锌盐、有机膦化合物、无机磷化合物、聚环氧琥珀酸、聚丙烯酰胺系聚合物以及葡萄糖酸盐的重量比为0.5-5∶0.1-5∶0.1-2.5∶0.5-8∶3-20∶1，

式(I)。

2.根据权利要求1所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述水溶性无机锌盐、有机膦化合物、无机磷化合物、聚环氧琥珀酸、聚丙烯酰胺系聚合物以及葡萄糖酸盐的重量比为0.8-4∶0.5-2.5∶0.3-1.5∶1-5∶5-12∶1。

3.根据权利要求1或2所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述水溶性无机锌盐为选自硫酸锌、氯化锌和硝酸锌中的一种或多种。

4.根据权利要求1或2所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述有机膦化合物含有选自氨基、羟基和羧基中的至少一种的官能团。

5.根据权利要求4所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述有机膦化合物为选自羟基乙叉二膦酸、氨基三甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、二乙烯三胺五亚甲基膦酸、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、多元醇磷酸脂、2-羟基膦基乙酸、多氨基多醚基甲叉膦酸、双1，6-亚己基三胺五甲叉膦酸和己二胺四甲叉膦酸及其钾盐、钠盐、铵盐和铝盐中的一种或多种。

6.根据权利要求1或2所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述无机磷化合物为选自磷酸及其钾盐、钠盐、铵盐和铝盐中的一种或多种。

7.根据权利要求6所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述无机磷化合物为选自磷酸、磷酸二氢铵、磷酸氢二铵、磷酸二氢钠、磷酸氢二钠、磷酸二氢钾、磷酸氢二钾、磷酸二氢铝、三聚磷酸钠和六偏磷酸钠中的一种或多种。

8.根据权利要求1或2所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述聚丙烯酰胺系聚合物还含有如式(II)所示的结构单元，

式(II)。

9.根据权利要求8所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述聚丙烯酰胺系聚合物的重均分子量为1000-10000，且所述式(II)所示的结构单元和式(I)所示的结构单元的重量比为5-9∶1-5。

10.根据权利要求1或2所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述聚环氧琥珀酸为选自式(III)所示的化合物中的一种或多种，

HO(C₄H₂O₅M₂)_nH    式(III)

式(III)中，M为H、Na或K，n为2-50的整数。

11.根据权利要求10所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述n为2-30的整数。

12.根据权利要求1或2所述的金属缓蚀剂组合物，其中，所述葡萄糖酸盐为选自葡萄糖酸钠、葡萄糖酸钾、葡萄糖酸锌、葡萄糖酸铜、葡萄糖酸钙、葡萄糖酸镁和葡萄糖酸亚铁中的一种或多种。

13.一种金属缓蚀剂，所述金属缓蚀剂含有金属缓蚀剂组合物和酸性水溶液，其特征在于，所述金属缓蚀剂组合物为权利要求1-12中任意一项所述的金属缓蚀剂组合物。

14.根据权利要求13所述的金属缓蚀剂，其中，以所述金属缓蚀剂总重量计，金属缓蚀剂组合物的含量为50-75％，酸性水溶液的含量为25-50％。

15.根据权利要求14所述的金属缓蚀剂，其中，以所述金属缓蚀剂总重量计，金属缓蚀剂组合物的含量为60-70％，酸性水溶液的含量为30-40％。

16.根据权利要求13-15中任意一项所述的金属缓蚀剂，其中，所述酸性水溶液的浓度为10-36重量％。

17.根据权利要求13-15中任意一项所述的金属缓蚀剂，其中，所述酸性水溶液为选自盐酸、硫酸水溶液、硝酸水溶液、醋酸水溶液中的一种或多种。

18.权利要求13-17中任意一项所述的金属缓蚀剂作为铜缓蚀剂的应用。