[发明专利]一种单晶炉旋转机构的轴密封结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种单晶炉旋转机构的轴密封装置，属于轴密封技术领域。

背景技术

目前，通常使用单晶炉制取单晶硅，一般采用如下方法制造：将多晶硅装进石英坩埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把籽晶装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接，籽晶固定于夹持器的下端，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶体长大。

在生产过程中，单晶炉炉体内需要保持一定的真空度，旋转机构的轴穿过顶盖必须实现密封，目前多采用填料密封，填料密封的特点是：如果填料压得过紧，将加快轴的磨损，过松则密封性能不好。往往在使用初期，填料压紧到合适的程度，密封效果较好，随着使用时间的延长，其密封性能下降。由于单晶炉旋转机构位置比较高，操作人员爬到高位检查不太方便，泄漏产生时不易察觉。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有技术中存在的问题，提供一种单晶炉旋转机构的轴密封装置，自身具备一定弹性，长时间运转后，仍然能保持良好的密封。

为解决以上技术问题，本发明所提供的一种单晶炉旋转机构的轴密封装置，包括密封面相互配合的石墨静环及石墨动环；所述石墨静环安装在顶盖的台阶孔中，石墨静环的下端面与所述台阶孔之间通过静环密封圈实现密封，所述石墨静环的下端面上设有静环固定槽，台阶孔上设有插入所述静环固定槽中且与静环固定槽相适配的静环销钉；所述石墨动环安装在密封环座的下端面上，所述密封环座的上端面连接在弹簧活动座上，所述弹簧活动座与所述密封环座的相向端面之间通过动环密封圈实现密封，所述密封环座的上端面上设有密封环座销钉孔，所述弹簧活动座的下端面上设有与所述密封环座销钉孔相适配的弹簧活动座销钉，所述弹簧活动座销钉插入所述密封环座销钉孔中；所述弹簧活动座与弹簧固定座之间设有弹簧，所述弹簧固定座上设有螺钉孔，紧定螺钉拧入所述螺钉孔将弹簧固定座锁紧在旋转轴上。

相对于现有技术，本发明取得了以下有益效果：密封通过石墨动环和石墨静环的相向端面实现的，石墨比较耐磨且具有自润滑功能，运转一段时间后，石墨动环和石墨静环的密封面微量磨损，弹簧的推力仍然可以保持两密封环之间良好的密封。

作为本发明的优选方案，所述静环密封圈设有相互嵌套的两个。

作为本发明的优选方案，所述动环密封圈设有相互嵌套的两个。

附图说明

图1为本发明单晶炉旋转机构的轴密封装置的分解示意图。

图2为图1中石墨静环沿A-A的下端面视图。

图3为本发明单晶炉旋转机构的轴密封装置的安装示意图。

图4为图3中轴套的放大图。

图5为图4的B向视图。

图中：1弹簧固定座、1a螺钉孔、1b紧定螺钉、2弹簧、3弹簧活动座、3a弹簧活动座销钉、4第一动环密封圈、5第二动环密封圈、6密封环座、6a密封环座销钉孔、6b石墨动环、7石墨静环、7a静环固定槽、8第一静环密封圈、9第二静环密封圈、10旋转轴、11轴套、11a键槽、11b轴套端面密封槽、12顶盖、12a静环销钉、13键、14轴套端面密封圈。

具体实施方式

如图1、图2及图3所示，本发明的单晶炉旋转机构的轴密封装置包括密封面相互配合的石墨静环7及石墨动环6b。

石墨静环7安装在顶盖12的台阶孔中，石墨静环7的下端面与台阶孔之间通过静环密封圈实现密封，静环密封圈包括相互嵌套的第一静环密封圈8和第二静环密封圈9。石墨静环7的下端面上设有静环固定槽7a，台阶孔上设有静环固定槽7a相适配的静环销钉12a，静环销钉12a插入静环固定槽7a中使静环不能转动。

石墨动环6b安装在密封环座6的下端面上且两者连为一体，密封环座6的上端面连接在弹簧活动座3上，弹簧活动座3与密封环座6的相向端面之间通过动环密封圈实现密封，动环密封圈包括相互嵌套的第一动环密封圈4和第二动环密封圈5。密封环座6的上端面上设有密封环座销钉孔6a，弹簧活动座3的下端面上设有与密封环座销钉孔6a相适配的弹簧活动座销钉3a，弹簧活动座销钉3a插入密封环座销钉孔6a中；弹簧活动座3与弹簧固定座1之间设有弹簧2，弹簧固定座1上设有螺钉孔1a，紧定螺钉1b拧入螺钉孔1a将弹簧固定座1锁紧在旋转轴10上。

如图3、图4及图5所示，为了保护旋转轴10，在旋转轴10上套装有轴套11，轴套11内壁设有键槽11a并通过键13与旋转轴10连接，弹簧固定座1锁紧在轴套11的外壁，轴套11的下端面上设有轴套端面密封槽11b，轴套端面密封槽11b中安装有轴套端面密封圈14。

除上述实施例外，本发明还可以有其它实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围内。