[发明专利]压电驱动器及直线压电马达有效
申请号: | 201110084365.3 | 申请日: | 2011-04-02 |
公开(公告)号: | CN102185096A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 董蜀湘;李晓天 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/04;H02N2/02;H02N2/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 李勇 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 驱动器 直线 马达 | ||
1.一种压电驱动器,其特征在于,包括叠加在一起的至少两个压电片,各压电片分别具有设定的极化分布方向,且各压电片的表面设置有与压电片极化分布方向配合设置的第一驱动电极组和第二驱动电极组,以便在施加在所述第一驱动电极组和第二驱动电极组的预设特征频率驱动电压作用下,各压电片产生相同频率的振动变形,从而在各压电片的合成振动变形下使所述压电驱动器整体产生一阶弯曲振动模式下的驻波谐振动或行波运动。
2.根据权利要求1所述的压电驱动器,其特征在于,各压电片均为矩形压电片;
所述压电驱动器上各压电片均沿厚度方向极化,所述的厚度方向为与压电片的叠加方向相同。
3.根据权利要求1或2所述的压电驱动器,其特征在于,所述第一驱动电极组和第二驱动电极组沿所述压电驱动器的对角线设置,以便所述压电驱动器在施加在所述第一驱动电极组或第二驱动电极组上的预设特征频率的第一预设驱动电压作用下,通过各压电片的叠加运动产生沿对角线方向的一阶弯曲振动模式下的驻波谐振动,或者,在施加在所述第一驱动电极组的预设特征频率的第一预设驱动电压,以及施加在所述第二驱动电极组上相同预设特征频率的第二预设驱动电压共同作用下,通过各压电片的合成运动产生一阶弯曲振动模式下的呼啦圈式的行波运动。
4.根据权利要求3所述的压电驱动器,其特征在于,所述压电驱动器包括第一压电片和第二压电片,且所述第一压电片和第二压电片具有相同的极化方向;
所述第一压电片和第二压电片相互叠加的表面具有公共驱动电极;所述第一压电片和第二压电片沿叠加方向的两个外表面上,分别设置有间隔设置的两个驱动电极,从而在所述压电驱动器的两个对角线方向分别形成第一驱动电极组和第二驱动电极组。
5.根据权利要求1或2所述的压电驱动器,其特征在于,所述压电驱动器包括:沿压电片叠加方向设置的第一压电片组和第二压电片组,且所述第一驱动电极组和第二驱动电极组沿压电片叠加方向设置,以便所述第一压电片组在施加在所述第一驱动电极组上的预设特征频率的第一预设驱动电压作用下,产生沿宽度方向的弯曲变形,所述第二压电片组在施加在所述第二驱动电极组上的预设特征频率的第二预设驱动电压作用下,产生沿厚度方向的弯曲变形,从而使所述压电驱动器整体通过运动叠加产生一阶弯曲振动模式下的呼啦圈式的行波运动。
6.根据权利要求1或2所述的压电驱动器,其特征在于,所述压电驱动器包括:沿压电片叠加方向依次设置的第一压电片组和第二压电片组,且所述第一驱动电极组和第二驱动电极组沿压电片叠加方向设置,以便所述第一压电片组和第二压电片组在所述第一驱动电极组上的预设特征频率的第一预设驱动电压作用下,产生厚度方向的弯曲变形,所述第二压电片组在施加在所述第二驱动电极组上的预设特征频率的第二预设驱动电压作用下,产生宽度方向的弯曲变形,从而使所述压电驱动器整体通过运动叠加产生一阶弯曲振动模式下的呼啦圈式的行波运动。
7.根据权利要求1或2所述的压电驱动器,其特征在于,所述压电片为压电陶瓷元件或压电单晶元件;或者,
所述压电片包括具有弹性金属的复合压电元件。
8.一种直线压电马达,其特征在于,包括滑动组件,以及上述权利要求1~7任一所述的压电驱动器,其中,所述滑动组件包括导轨和沿所述导轨直线运动的滑动部件;所述压电驱动器上设置有摩擦球和弹性压紧部件,所述摩擦球在所述弹性压紧部件提供的压紧力作用下与所述滑动部件弹性接触;所述摩擦球在所述压电驱动器的驻波谐振动或行波运动作用下驱动所述滑动部件直线运动。
9.根据权利要求8所述的直线压电马达,其特征在于,还包括驱动电源,所述驱动电源用于为所述压电驱动器提供预设特征频率的驱动电压,使所述压电驱动器整体激发产生一阶弯曲模式的振动变形。
10.根据权利要求9所述的直线压电马达,其特征在于,所述驱动电源用于为所述压电驱动器提供预设特征频率的第一驱动电压和第二驱动电压;且第一和第二驱动电压之间具有π/2或90°相位差。
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