[发明专利]腔式石墨舟有效
| 申请号： | 201110082405.0 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102181846A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张志勇 | 申请（专利权）人： | 石金精密科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 | ||
1.一种腔式石墨舟，包括舟片，其特征在于，还包括：位于所述石墨舟左右两端的左、右电极，所述舟片包括与所述左电极导电连接的左电极片以及与所述右电极导电连接的右电极片。
2.根据权利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述左电极片与右电极片间隔排列，各左电极片及右电极片之间通过陶瓷杆连接；所述陶瓷杆上套有陶瓷套。
3.根据权利要求2所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片通过设置在该舟片一侧的连接片与相应电极导电连接。
4.根据权利要求3所述的腔式石墨舟，其特征在于，每一舟片一侧的连接片包括上下两个，各舟片的连接片之间通过石墨隔块隔离。
5.根据权利要求4所述的腔式石墨舟，其特征在于，位于舟片上面的连接片之间的石墨隔块上设有用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的腔式石墨舟，其特征在于，还包括支撑脚，在石墨舟的左右两端各设有两个，每一端的两所述支撑脚分别设置在所述左电极或右电极的两侧。
7.根据权利要求6所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述支撑脚底部设有与外部运转小车上固定柱配合的圆弧形凹槽。
8.根据权利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片数量为21-41片。
9.根据权利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片上设有装载硅片的硅片位，每个舟片上设有至少6个硅片位。
10.根据权利要求9所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述硅片位为凹槽；所述凹槽为镂空或不镂空。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
