[发明专利]一种用于超低泄露率检测的气体样品富集装置及方法

权利要求书

1.一种用于超低泄漏率检测的气体样品富集装置，设有腔体、机械泵，其中腔体上设有腔门、进气管、排气管以及出气管，机械泵经排气管与腔体相连接，进气管、排气管和出气管上分别设有进气阀门、排气阀门和出气阀门，其特征在于腔体内设有与腔门平行的隔板，隔板将腔体分为富集腔和缓冲腔，其中临近腔门的为缓冲腔，隔板上设有富集腔门以及连通富集腔和缓冲腔的换气管，换气管上设有换气阀门，出气管与富集腔相连接，富集腔和缓冲腔分别设有真空规，其中出气阀门、换气阀门以及与富集腔相连接的真空规均位于缓冲腔内。

2.根据权利要求1所述的一种用于超低泄漏率检测的气体样品富集装置，其特征在于设有控制器，控制器分别与机械泵、进气阀门、排气阀门、出气阀门、换气阀门相连接，控制器内设有数字键盘、控制单元和与控制单元相连接的分别用于驱动进气阀门、排气阀门、出气阀门以及换气阀门的进气阀门驱动电路、排气阀门驱动电路、出气阀门驱动电路以及换气阀门驱动电路。

3.根据权利要求1所述的一种用于超低泄漏率检测的气体样品富集装置，其特征在于进气管上设有压力计。

4.一种用于超低泄露率检测的气体样品富集方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤一：充入辅助气体，将腔体上进气管的进气口与储存有辅助气体的储气瓶相连接，打开进气管上的进气阀门以及腔体内隔板上的换气阀门，保持出气阀门和排气阀门关闭，使储气瓶内的辅助气体进入腔体，

步骤二：放置待检测容器，向待检容器内充入待检测气体，依次打开腔门以及富集腔门，将充满待检测气体的待检容器放置在富集腔内，然后关闭富集腔门以及腔门，

步骤三：排出多余辅助气体，打开排气阀门以及换气阀门，使用经排气管与腔体相连接的机械泵将腔体内多余的辅助气体排出，

步骤四：富集气体样品，关闭换气阀门以及排气阀门，使腔体保持相对密闭状态，富集腔对置于其中的待检容器进行样品富集，

步骤五：输出气体样品，打开出气阀门，使富集腔内收集的气体样本经出气管输出。

5.根据权利要求4所述的一种用于超低泄露率检测的气体样品富集方法，其特征在于所述步骤一的操作应持续至腔体内气压达到10⁵ Pa。

6.根据权利要求4所述的一种用于超低泄露率检测的气体样品富集方法，其特征在于步骤二中待测容器内气压范围为100kPa～10MPa。

7.根据权利要求4所述的一种用于超低泄露率检测的气体样品富集方法，其特征在于所述步骤三的操作应持续至腔体中富集腔和缓冲腔内的气压均低于1Pa。