[发明专利]消耗量测量方法

权利要求书

1.一种消耗量测量方法，其是如下耗材的消耗量测量方法，该耗材具有相互平行的、暴露在使耗材消耗的环境中的耗材消耗面及暴露在不使上述耗材消耗的环境中的耗材非消耗面，该消耗量测量方法的特征在于，

将非耗材与上述耗材热耦合，该非耗材由与上述耗材相同的材料构成，其具有相互平行的、暴露在不使该非耗材消耗的环境中的第1非耗材非消耗面及第2非耗材非消耗面，

与上述耗材消耗面及上述耗材非消耗面垂直地向上述耗材照射低相干光，接收来自上述耗材消耗面及上述耗材非消耗面的上述低相干光的反射光并计测上述低相干光的沿厚度方向在上述耗材内往返的第1光路长度，

与上述第1非耗材非消耗面及上述第2非耗材非消耗面垂直地向上述非耗材照射低相干光，接收来自上述第1非耗材非消耗面及上述第2非耗材非消耗面的低相干光的反射光并计测上述低相干光的沿厚度方向在上述非耗材内往返的第2光路长度，

基于上述第1光路长度与上述第2光路长度的比率，算出上述耗材的消耗量。

2.如权利要求1所述的消耗量测量方法，其特征在于，在将上述第1光路长度设为L_A、上述第2光路长度设为L_B、上述耗材的初始厚度设为d_AO、上述非耗材的初始厚度设为d_BO、上述耗材的消耗量设为δ时，上述耗材的消耗量由下式(1)表示。

δ＝d_AO-d_BO×L_A/L_B...(1)。

3.如权利要求1或2上述的消耗量测量方法，其特征在于，分别向上述耗材及上述非耗材照射低相干光。

4.如权利要求1或2所述的消耗量测量方法，其特征在于，以上述耗材消耗面、上述耗材非消耗面、上述第1非耗材非消 耗面及上述第2非耗材非消耗面相互平行且位于同一轴线上的方式，配置上述耗材及上述非耗材，

与上述耗材消耗面、上述耗材非消耗面、上述第1非耗材非消耗面及上述第2非耗材非消耗面垂直地向上述耗材及上述非耗材照射低相干光。

5.如权利要求1或2所述的消耗量测量方法，其特征在于，上述耗材是配置在使用等离子体来对基板实施处理的基板处理装置的处理室内的圆环状的聚焦环或圆板状的电极板。