[发明专利]倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺

权利要求书

1.一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺，其特征在于它的步骤如下：

1）将质量百分比纯度为99.9999%、直径为0.25mm-0.50mm的钨丝拉直截取成10-15mm的钨丝段作为阳极，将0.5-1mm的铂金丝绕成直径为8-10mm的铂金圈作为阴极，将浓度为1mol/L-3mol/L的 KOH溶液作为电解液；

2）把铂金圈置于电解液液面处，并接地，将钨丝段穿过铂金圈中心浸入电解液中，施加电压信号对钨丝段进行电解，当电解电流曲线斜率大于0.8mA/ms时，自动切断电压信号，电解后的钨丝段在氢氟酸溶液或丙酮溶液中浸泡1-2分钟，以去除探针表面的氧化层，得到倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针。

2.根据权利要求1所述的一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺，其特征在于所述钨丝段穿过铂金圈中心浸入电解液中浸没深度的计算公式为：

。

3.根据权利要求1所述的一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺，其特征在于所述施加电压信号对钨丝段进行电解的具体实施形式为：电压信号先采用4.3-6.3V直流电压，当电解电流下降至1.6mA后，电压信号改为幅值4.3-6.3V占空比可调的脉宽电压，电压信号占空比为20%-50%。