[发明专利]一种双端固支梁室温瓦斯传感器有效
| 申请号： | 201110077880.9 | 申请日： | 2011-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102221568A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 马洪宇;丁恩杰;张卫东 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 唐惠芬 |
| 地址： | 221116 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双端固支梁 室温 瓦斯 传感器 | ||
1.一种双端固支梁室温瓦斯传感器，其特征在于：该传感器以左右对称设置的硅衬底（101）为基底，硅衬底（101）上设有介质层（1021），介质层（1021）上部的中心线左右两侧对称的设有下电极（1031），两侧对称设置的下电极（1031）上分别设有压电层（104），介质层（1021）、压电层（104）和下电极（1031）上覆盖有隔离介质层（1022），左右两侧的压电层（104）的隔离介质层（1022）上分别设有上电极（1032）；左右两侧设置的下电极（1031）、压电层（104）、隔离介质层（1022）和上电极（1032）分别组成左压电单元（1061）和右压电单元（1062），左压电单元（1061）和右压电单元（1062）之间设有位于隔离介质层（1022）之上、组成双端固支梁结构（107）的瓦斯敏感层（105），左右对称设置的硅衬底（101）上分别设有与下电极（1031）相连的下电极引线（10311）和与上电极（1032）相连的上电极引线（10322）。
2.根据权利要求1所述的双端固支梁瓦斯室温传感器，其特征在于：所述的瓦斯敏感层（105）为穴番-A或穴番-E超分子化合物。
3.根据权利要求1所述的双端固支梁瓦斯室温传感器，其特征在于：所述的介质层（1021）为氧化硅或氮化硅或氧化硅及氮化硅复合层；隔离介质层（1022）为氧化硅层。
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