[发明专利]增强磁场型线性离子源

权利要求书

1.一种增强磁场型线性离子源，其特征在于：包括呈长方形且顶部开有长环状贯通沟槽的阴极顶板和长条槽状的阴极外框(5)组成的盒状结构；所述阴极顶板上开有长环状贯通沟槽式环状离子引出开口(1)；所述盒状结构内部纵轴线上置有中央磁钢(20)，平行于所述中央磁钢(4)两侧且位于阴极外框(5)内壁处置有外围磁钢(4)，中央磁钢(20)和外围磁钢(4)之间形成环形放电槽；所述阴极外框(5)的底板上安装有绝缘支柱(15)，所述绝缘支柱(15)将长环状阳极(18)置于所述环形放电槽中，且使阳极(18)位于所述环状离子引出开口(1)下方；阴极外框(5)的底板上还设有气管(11)。

2.如权利要求1所述一种增强磁场型线性离子源，其特征在于：所述阳极(18)上表面与阴极顶板下表面之间的距离在5mm以上。

3.如权利要求1或2所述一种磁场增强型线性离子源，其特征在于：阴极顶板由阴极顶板内环(2)和阴极顶板外环(3)构成，阴极顶板内环(2)和阴极顶板外环(3)之间为环状离子引出开口(1)；阴极顶板内环(2)开设阴极顶板水冷通道(22)，阴极外框(5)的壁上开设阴极外框水冷通道(23)；所述阳极(18)中间开设阳极水冷通道(24)。

4.如权利要求1所述一种增强磁场型线性离子源，其特征在于：所述绝缘支柱(15)通过螺钉(12)固定在阴极外框(5)的底板上，所述螺钉(12)上设有密封端盖(13)。

5.如权利要求1所述一种磁场增强型线性离子源，其特征在于：所述阳极(18)与阴极之间采用阳极悬浮屏蔽罩(19)结构，阳极悬浮屏蔽罩(19)采用导磁碳钢或不锈钢材料。

6.如权利要求1所述一种磁场增强型线性离子源，其特征在于：所述中央磁钢(20)、外围磁钢(4)面向环形放电槽一侧设有挡板(16)。

7.如权利要求3所述一种增强磁场型线性离子源，其特征在于：在所述阴极外框(5)下方设有进气管(8)、阳极水冷管(9)和阴极水冷管(10)；所述进气管(8)与气管(11)连接，阳极水冷管(9)和阳极水冷通道(24)连接，阴极水冷管(10)和阴极顶板水冷通道(22)、阴极外框水冷通道(23)连接；且进气管(8)、阳极水冷管(9)和阴极水冷管(10)位于密封盒(7)内。

8.如权利要求3所述一种磁场增强型线性离子源，其特征在于：所述阴极顶板外环(3)采用拼接结构。

9.如权利要求1所述一种磁场增强型线性离子源，其特征在于：所述线性离子源的供电电源采用直流电源或脉冲中频电源。

10.如权利要求1所述一种磁场增强型线性离子源，其特征在于：所述中央磁钢(20)和外围磁钢(4)同时采用Nd-Fe-B永磁体材料。