[发明专利]热式光检测器、热式光检测装置及电子设备

权利要求书

1.一种热式光检测器，其特征在于，具有：

热式检测元件；

支撑部件，包括第一面和与所述第一面相对的第二面，所述第一面面向空腔部，所述热式检测元件安装并支撑在所述第二面上；以及

固定部，支撑所述支撑部件，

其中，所述支撑部件具有：

第一层部件，配置在所述第二面侧，并具有朝向第一方向的残留应力；以及

第二层部件，在所述第一面侧层叠到所述第一层部件上，并具有朝向与所述第一方向相反的第二方向的残留应力，

所述第一层部件的热导小于所述第二层部件的热导。

2.根据权利要求1所述的热式光检测器，其特征在于，

所述支撑部件还具有第三层部件，所述第三层部件在与所述第二层部件层叠到所述第一层部件的面相反的面处层叠在所述第二层部件上，所述第三层部件具有朝向所述第一方向的残留应力。

3.根据权利要求1或2所述的热式光检测器，其特征在于，

所述第一层部件和所述第二层部件中的一个由氧化膜形成，另一个由氮化膜形成。

4.根据权利要求3所述的热式光检测器，其特征在于，

所述第一层部件和所述第三层部件由相同材料构成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的热式光检测器，其特征在于，

所述热式检测元件包括电容器，所述电容器在第一电极和第二电极之间含有热电体，并且所述电容器的极化量随温度而变化。

6.根据权利要求5所述的热式光检测器，其特征在于，

所述第一层部件和所述第二层部件中的一个具有还原气体阻隔性。

7.根据权利要求5所述的热式光检测器，其特征在于，

所述热式光检测器还具有至少覆盖所述电容器的侧面的还原气体阻隔层，

所述第二层部件具有还原气体阻隔性。

8.根据权利要求6所述的热式光检测器，其特征在于，

所述第一电极包括：

控制所述热电体的取向性的取向控制层；以及

比所述取向控制层更靠近所述支撑部件一侧、用于提高与所述支撑部件的所述第一层部件之间的密合性的密合层。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的热式光检测器，其特征在于，

所述支撑部件形成在蚀刻停止膜上，所述蚀刻停止膜形成在配置在所述空腔部中的牺牲层上，通过去除所述牺牲层，所述支撑部件在所述第二面侧的最外层具有所述蚀刻停止膜。

10.根据权利要求9所述的热式光检测器，其特征在于，

所述蚀刻停止膜具有还原气体阻隔性。

11.一种热式光检测装置，其特征在于，沿正交的两轴方向二维配置权利要求1至10中任一项所述的热式光检测器。

12.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求1至10中任一项所述的热式光检测器。

13.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求11所述的热式光检测装置。