[发明专利]压电元件及其制造方法、压电执行元件、液滴喷射头及装置

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，包括：

在基板上形成的第1电极、在上述第1电极上形成的压电体层、在上述压电体层上形成的第2电极、和至少覆盖上述压电体层的侧面的保护膜，

上述压电体层的上述侧面具有沿着从上述第2电极朝向上述第1电极的方向延伸的多个槽。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

上述槽相对于上述侧面的深度为20nm以上200nm以下。

3.根据权利要求1或2所述的压电元件，其特征在于，

上述保护膜的材质是绝缘性树脂材料和/或绝缘性无机材料。

4.一种压电执行元件，其特征在于，具备权利要求1～3中任意一项所述的压电元件。

5.一种液滴喷射头，其特征在于，具备权利要求4所述的压电执行元件。

6.一种液滴喷射装置，其特征在于，具备权利要求5所述的液滴喷射头。

7.一种压电元件的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成第1电极的工序；

在上述第1电极上形成压电材料膜的工序；

通过干蚀刻对上述压电材料膜进行构图，形成压电体层的工序；

在上述压电体层上形成第2电极的工序；和

形成至少覆盖上述压电体层的侧面的保护膜的工序；

上述干蚀刻中的蚀刻气体是以含有BCl₃的氯类气体为主要成分的混合气体。

8.根据权利要求7所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

上述混合气体至少含有BCl₃、C₄F₈，上述混合气体中的BCl₃相对于C₄F₈的混合比在1～4的范围内。

9.根据权利要求7或8所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

上述干蚀刻在1.0Pa以下的压力下进行。