[发明专利]光波导器件和光波导器件的制造方法

权利要求书

1.一种光波导器件，包括：

光波导线路，用于从有序排列的第一至第四输出端子输出从与第一波导相连的第一输入端子输入并且分路至第一至第四光路的光信号，并且用于从有序排列的第一至第四输出端子输出从与第二波导相连的第二输入端子输入并且分路至第五至第八光路的光信号，其中

所述光波导线路包括：

光线路，向沿第二至第八光路传播的光信号分别赋予相对于沿

第一光路传输的光信号的π、π/2、3π/2、0、π、π/2、3π/2的相位

差；以及

光耦合器，用于分别将沿第一至第五光路传播的光信号、沿第二至第六光路传播的光信号、沿第三至第七光路传播的光信号和沿第四至第八光路传播的光信号多路复用，并且分别输出至所述第一至第四输出端子；

并且其中所述光波导线路排列为让每一个线路的所述第一至第四输出端子如上所述排列；以及

在将光信号输入至所述第一和第二输入端子之前，所述第一波导和所述第二波导不交叉。

2.根据权利要求1所述的光波导器件，其中

所述光波导线路包括：

第一和第二光波导臂，用于分别传输分路的第一光信号；

第三和第四光波导臂，用于分别传输分路的第二光信号；

第一光耦合器，用于通过对在所述第一和所述第三光波导臂中传输的一对光信号进行组合，分别输出具有π相位差的第一和第二干涉信号；以及

第二光耦合器，用于通过对在所述第二和所述第四光波导臂中传输的一对光信号进行组合，分别输出具有π相位差的第三和第四干涉信号；

其中：

从所述第一至第四输出端口分别输出所述第一至所述第四干涉信号；

向所述第一和所述第二光波导臂的对或者所述第三和所述第四光波导臂的对设置光程差；以及

对所述第一和所述第三干涉信号设置所述光程差的值以及根据所述第一和所述第二光耦合器中的每一个所具有的相位转换特性的相位差的值，以便让所述第二和所述第四干涉信号分别具有+π/2的相位差。

3.根据权利要求1所述的光波导器件，其中

分别输入作为分离偏振波的TE和TM信号作为第一干涉仪处的第一光信号和第二干涉仪处的第二光信号；以及

将分路的光信号的一个和另一个输入作为第一干涉仪处的第二光信号和第二干涉仪处的第一光信号。

4.根据权利要求2所述的光波导器件，其中向所述第三和所述第四光波导臂的对设置光程差。

5.根据权利要求2所述的光波导器件，其中所述第一和所述第二光耦合器每一个均配置为马赫-曾德干涉仪。

6.一种光波导器件制造方法，包括以下步骤：

在衬底上形成第一包层；

在所述第一包层上层压芯区层；

通过对所述芯区层构图形成芯区；

用具有与所述第一包层相同折射率的第二包层覆盖所述芯区，其中

利用构图掩模执行所述芯区层的构图，并且所述芯区层的构图具有包括如下部件的芯区图案：

光波导线路，用于从有序排列的第一至第四输出端子输出从与第一波导相连的第一输入端子输入并且分路至第一至第四光路的光信号，并且用于从有序排列的第一至第四输出端子输出从与第二波导相连的第二输入端子输入并且分路至第五至第八光路的光信号，其中

所述第一和所述第二光波导包括：

光线路，向沿第二至第八光路传播的光信号分别赋予相对于沿第一光路传输的光信号的π、π/2、3π/2、0、π、π/2、3π/2的相位差；以及

光耦合器，用于分别将沿第一至第五光路传播的光信号、沿第二至第六光路传播的光信号、沿第三至第七光路传播的光信号和沿第四至第八光路传播的光信号多路复用，并且分别输出至所述第一至第四输出端子；

并且其中所述光波导线路排列为让每一个线路的所述第一至第四输出端子如上所述排列；以及

在将光信号输入至所述第一和第二输入端子之前，所述第一波导和所述第二波导不交叉。