[发明专利]有机电激发光元件的制造方法及影像显示系统有效

专利信息
申请号: 201110067501.8 申请日: 2006-10-27
公开(公告)号: CN102157444A 公开(公告)日: 2011-08-17
发明(设计)人: 詹川逸;刘俊彦;曾章和 申请(专利权)人: 奇美电子股份有限公司
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77;H01L21/336;H01L27/32;G09F9/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邱军
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 机电 激发 元件 制造 方法 影像 显示 系统
【权利要求书】:

1.一种有机电激发光元件的制造方法,包括:

提供基板,该基板包括含有多个像素的像素区域,其中每一像素内包括第一元件区域与第二元件区域;

形成图案化保护膜于该第二元件区域上方;

形成非晶硅层于该基板与该图案化保护膜上方;

对该非晶硅层进行一准分子激光退火工艺以将该非晶硅层转化为多晶硅层;以及

图案化该多晶硅层,以在该第一元件区域形成第一图案化多晶硅层,及在该第二元件区域形成第二图案化多晶硅层,其中该第一图案化多晶硅层的晶粒尺寸大于该第二图案化多晶硅层,藉此形成有机电激发光元件,

其中该图案化保护膜的热传导系数大于该基板和该非晶硅层的热传导系数。

2.如权利要求1所述的有机电激发光元件的制造方法,其中该图案化保护膜包括金属材料。

3.如权利要求1所述的有机电激发光元件的制造方法,还包括:

在该图案化该多晶硅层的步骤后,形成栅极介电层,以覆盖该图案化多晶硅层与该基板。

4.如权利要求1所述的有机电激发光元件的制造方法,其中该第一、第二图案化多晶硅层分别为位于该第一元件区域内的第一有源层与位于该第二元件区域内的第二有源层。

5.如权利要求1所述的有机电激发光元件的制造方法,其中该第一元件区域内形成开关薄膜晶体管元件,而该第二元件区域内形成驱动薄膜晶体管元件。

6.如权利要求5所述的有机电激发光元件的制造方法,还包括:

有机发光二极管,其中该有机发光二极管与该驱动薄膜晶体管元件形成电连接。

7.一种影像显示系统,包括:

有机电激发光元件,包括:

上方具有像素区的基板,其中该像素区包括多个次像素,且每一个次像素包括:

开关区以及驱动区;

开关薄膜晶体管,置于该开关区;以及

驱动薄膜晶体管,置于该驱动区,且至少包括栅极、位于该栅极下方的多晶硅层、与位于该多晶硅层下方的图案化保护膜,其中该图案化保护膜为金属层且介于该多晶硅层与该基板之间,

该图案化保护膜的热传导系数大于该基板和该多晶硅层的热传导系数。

8.如权利要求7所述的影像显示系统,还包括显示面板,其中该有机电激发光元件形成该显示面板的一部份。

9.如权利要求8所述的影像显示系统,还包括电子元件,其中该电子元件包括:

该显示面板;以及

耦接至该显示面板的输入单元,且该输入单元用以提供输入信号至该显示面板,因而该显示面板显示影像。

10.如权利要求9所述的影像显示系统,其中该电子元件为移动电话、数码相机、个人数字助理、笔记型计算机、桌上型计算机、电视、车上显示器或可携式数字多功能光盘播放机。

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