[发明专利]振动片、传感器元件、传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，

该振动片包括：

基部；以及

振动臂，该振动臂从所述基部沿第一方向延伸，

所述振动臂包括沿所述第一方向从所述基部侧依次排列的第一区域、第二区域和第三区域，

所述第一区域～第三区域包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极彼此电独立且沿俯视与所述第一方向垂直的第二方向产生电场，

所述第一区域及所述第三区域的电场方向与所述第二区域的电场方向相互为相反方向，

借助于所述第二方向的所述电场，使所述振动臂产生所述第一方向的伸缩，使所述振动臂向与所述第一方向和所述第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

当设所述振动臂的所述第二方向的宽度为w、所述第三方向的厚度为t时，w＞t。

3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

所述振动臂具有与所述第三方向垂直的第一面、与所述第一面对置的第二面、与所述第二方向垂直的第三面、以及与所述第三面对置的第四面，

所述振动臂的所述第一区域和所述第三区域的所述第一电极设于所述第一面上的所述第三面侧，并且，所述第一区域和所述第三区域的所述第二电极设于所述第一面上的所述第四面侧，

所述振动臂的所述第二区域的所述第一电极设于所述第一面上的所述第四面侧，并且，所述第二区域的所述第二电极设于所述第一面上的所述第三面侧。

4.根据权利要求3所述的振动片，其特征在于，

用于连接所述第一区域的所述第一电极和所述第二区域的所述第一电极的第一配线设于所述第一面上，

用于连接所述第一区域的所述第二电极和所述第二区域的所述第二电极的第二配线以经过所述第四面上、所述第二面上以及所述第三面上的方式设置，

用于连接所述第二区域的所述第一电极和所述第三区域的所述第一电极的第三配线以经过所述第四面上、所述第二面上以及所述第三面上的方式设置，

用于连接所述第二区域的所述第二电极和所述第三区域的所述第二电极的第四配线设于所述第一面上。

5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

所述第一配线在所述第一面上被斜着引出并延伸，

所述第二配线的设于所述第二面上的配线部分被斜着引出并延伸，

在从所述第三方向观察的俯视图中，所述第一配线与所述第二配线的设置于所述第二面上的配线部分局部地相交，

所述第三配线的设置于所述第二面上的配线部分被斜着引出并延伸，

所述第四配线在所述第一面上被斜着引出并延伸，

在从所述第三方向观察的俯视图中，所述第三配线的设于所述第二面上的配线部分与所述第四配线局部地相交。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

在所述第一区域与所述第二区域之间配置有包括振动的波节的第一波节区域，在所述第二区域与所述第三区域之间配置有包括振动的波节的第二波节区域。

7.根据权利要求1至5中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述振动片设有第一基部和第二基部作为所述基部，

所述振动臂的一端与所述第一基部连结，所述振动臂的另一端与所述第二基部连结。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述振动片采用石英。

9.一种传感器元件，其特征在于，

该传感器元件包括权利要求1至8中的任意一项所述的振动片。

10.一种传感器，其特征在于，

该传感器具有：

权利要求9所述的传感器元件；以及

用于收纳所述传感器元件的收纳体。

11.一种电子设备，其特征在于，

该电子设备具备权利要求1至8中的任意一项所述的振动片。