[发明专利]测量PBS偏振膜面偏向角度的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201110063329.9 申请日: 2011-03-16
公开(公告)号: CN102539124A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 樊仲维;朱光 申请(专利权)人: 北京国科世纪激光技术有限公司
主分类号: G01M11/04 分类号: G01M11/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100192 北京市海淀区西小*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 测量 pbs 偏振 偏向 角度 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种测量PBS偏振膜面偏向角度的装置,其特征在于,包括:

带有PBS托架的工装支架,所述PBS托架用于放置PBS;

反射镜,放置在工装支架底部,位于PBS正下方;

第一二维俯仰调节架,设置在工装支架上,用于对反射镜进行角度调整;

第二二维俯仰调节架,设置在工装支架上,用于对PBS进行角度调整;

成像机构,与PBS对应设置;

显像机构,与所述成像机构对应设置;当入射光射向所述成像机构时,入射光通过在成像机构、PBS及反射镜的不同的光传播线路在显像机构上显示出若干亮点,调整所述反射镜对应的第一二维俯仰调节架的二维角度使所述亮点中最亮的两个亮点重合,得到所述PBS偏振膜面相对于入射面的偏向角。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述成像机构包括第一分束镜、第二分束镜和凸透镜,入射光中的其中一部分依次通过第一分束镜、第二分束镜和凸透镜,并在显像机构上形成最亮点。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述显像机构包括CCD相机。

4.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,所述反射镜采用银镜,所述第一二维俯仰调节架位于所述银镜下方。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述PBS托架上位于所述PBS正下方,并设有通光孔。

6.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述CCD相机与计算机连接,并采用计算机来分析所述亮点的位置。

7.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述第一分束镜为1∶1分束镜;所述第二分束镜为1∶9分束镜。

8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述凸透镜焦距f=150mm;所述银镜的表面形变小于1/6λ。

9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述CCD相机前放置有衰减片。

10.一种测量PBS偏振膜面偏向角度的方法,其特征在于,包括以下步骤:

通过调节第一二维俯仰调节架、第二二维俯仰调节架分别使反射镜以及PBS保持水平;

将入射光照射于成像机构的第一分束镜,所述入射光通过在第一分束镜、第二分束镜、凸透镜、PBS以及反射镜内的不同的光传播线路而在CCD相机上成像多个亮点;

选取上述多个亮点中最亮和次亮的两个亮点;

观察CCD相机的显示屏,同时调整所述反射镜对应的第一二维俯仰调节架的二维角度,使所述最亮和次亮的两个亮点重合;所述第一二维俯仰调节架在X,Y方向上的相对偏移角即为PBS偏振膜面相对于入射面的偏向角。

11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述入射光照射于成像机构的第一分束镜时,入射光的一部分依序经过第一分束镜、第二分束镜以及凸透镜并在CCD相机上成像一个亮点,这时调节凸透镜与CCD相机的距离,使该亮点成像最小。

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