[发明专利]利用透明块缩小光斑

权利要求书

1.一种用于缩小光斑的装置，包括：

第一相干性降低元件，它包含由一组第一透明部件组成的第一阵列，所述第一透明部件被设置为各自接收一光束中不同的第一部分，所述第一透明部件相对于穿过其中的光束具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的第一部分作为各自基本上准直的第一子光束；

第二相干性降低元件，它包含由一组第二透明部件组成的第二阵列，所述第二透明部件被设置为接收每个所述第一子光束的各自不同的第二部分，所述第二透明部件相对于穿过其中的光束具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的第二部分作为各自基本上准直的第二子光束；以及

光合成器，其被设置为将所述第二基本准直子光束合成为基本准直的输出光束，

其中，所述第一和第二相干性降低元件中的一个或两者进一步包括一绕过部分，以允许所述光束的一部分绕过所述第一和第二相干性降低元件中的至少一个。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述光束包括具有相干长度的相干光束，其中所述第一透明部件的两个或更多个光程彼此相差至少所述相干长度。

3.如权利要求1所述的装置，其中，所述光束包括具有相干长度的相干光束，其中所述第二透明部件生成的两个或更多个光程彼此相差至少所述相干长度。

4.如权利要求1所述的装置，包括产生作为单模相干光束的光束的单模相干光源。

5.如权利要求1所述的装置，包括产生作为多模相干光束的光束的多模相干光源。

6.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一和第二透明部件中的至少一个为具有一对平行切面的棱镜的形式，通过至少一个切面传送所述光束的相应部分。

7.如权利要求6所述的装置，其中，所述棱镜为直立棱柱。

8.如权利要求7所述的装置，其中，所述直立棱柱包括矩形基底。

9.如权利要求6所述的装置，其中，所述第一和第二透明部件中的至少一个包括透射部件。

10.如权利要求6所述的装置，其中，所述第一和第二透明部件中的至少一个包括反射部件。

11.如权利要求1所述的装置，其中，所述光束包括绕过所述第一和第二相干性降低元件的至少一个的绕过部分。

12.如权利要求1所述的装置，其中，所述光束为具有相干长度的相干光束，其中所述第一和第二透明部件中的至少一个的两个光程彼此相差至少所述相干长度。

13.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一阵列包括一定数目的所述第一透明部件，其中由所述第二透明部件产生的所述至少两种不同的相应的光程为所述数目的函数。

14.如权利要求1所述的装置，其中，所述第二阵列包括一定数目的所述第二透明部件，其中由所述第一透明部件产生的所述至少两种不同的相应的光程为所述数目的函数。

15.如权利要求1所述的装置，其中，每一第二基本上准直的子光束穿过相应的组合光路，其中选择由所述第一透明部件产生的所述相应的光程以及所述第二透明部件产生的所述相应的光程以使所述相应的组合光路相互不同。

16.如权利要求15所述的装置，其中，所述光合成器包括均化所述准直的输出光束的多个透镜。

17.一种用于缩小光斑的装置，包括：

相干性降低元件，它包括一个由透明部件组成的阵列，所述透明部件被设置为各自接收入射在所述元件上的光束的不同部分，所述透明部件相对于穿过其中的光束各自具有至少两种不同的光程，并输出所述相应的部分作为各自基本上准直的子光束；和

光合成器，其被设置为将所述基本上准直的子光束合成为一条基本上准直的输出光束，

其中，所述相干性降低元件进一步包括一绕过部分，以允许所述光束的一部分绕过所述相干性降低元件。

18.如权利要求17所述的装置，其中，所述光合成器包括均化所述准直输出光束的多个透镜。