[发明专利]一种三元TiO2薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种三元TiO₂薄膜的制备方法，其特征在于：首先采用气相渗氮工艺对抛光后的金属钛表面进行渗氮处理，之后再采用微弧氧化技术在渗氮后的金属钛表面原位生长氧化镧，得到同时掺杂氮和复合氧化镧的三元TiO₂薄膜。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于依次包括如下步骤：

1）气相渗氮：将抛光处理后的金属钛放入通有氨气的高温炉中，控制温度500~800℃，恒温时间5~15 h，在金属钛表面形成一个渗氮层；

2）微弧氧化：将表面渗氮处理后的金属钛作为阳极材料，不锈钢板作为阴极材料，置于电解液中，并向电解液中均匀分散5~30 g/L的La₂O₃粉末，电解液温度控制在40℃以下；在200~400 V脉冲电压下作用5 ~60 min，在金属钛表面生成同时掺杂氮和复合La₂O₃的三元TiO₂薄膜。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述电解液为无水碳酸钠和九水硅酸钠的混合溶液，其中无水碳酸钠的质量浓度为15~30 g/L，九水硅酸钠的质量浓度为5~15 g/L。