[发明专利]缺陷修正装置以及缺陷跟踪方法

权利要求书

1.一种缺陷修正装置，具备摄像部和缺陷修正部，该摄像部获取将对象基板的一部分放大后的图像，该缺陷修正部根据该摄像部获取到的图像对上述对象基板进行修正处理，该缺陷修正装置的特征在于，还具备：

判断部，其判断包含在上述摄像部所获取到的上述图像中的缺陷是否延伸到该图像外；

跟踪部，其在上述缺陷延伸到上述图像外的情况下，对延伸到该图像外的部分进行跟踪；以及

设定部，其对包含在上述摄像部所获取到的图像中的缺陷设定一个以上的修正区域，

其中，上述设定部对在上述跟踪部进行了跟踪之后由上述摄像部获取到的图像中所包含的缺陷设定一个以上的上述修正区域。

2.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述跟踪部在前次跟踪之后由上述摄像部获取到的图像中所包含的缺陷仍延伸到该图像外的情况下，再对延伸到上述前次跟踪后的图像外的部分进行跟踪。

3.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，还具备：

存储部，其存储由上述设定部设定的修正区域的中心坐标；以及

合并部，其将上述存储部所存储的上述中心坐标中的相接近的中心坐标合并，

其中，上述缺陷修正部按照由上述合并部合并后的上述中心坐标来对上述缺陷进行上述修正处理。

4.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

还具备重心确定部，该重心确定部确定上述摄像部获取到的图像中所包含的缺陷区域的重心，

上述跟踪部在上述缺陷区域的重心位于视场区域的外周附近的情况下，对上述摄像部与上述对象基板的相对位置进行控制，以将上述缺陷区域的重心拖曳至上述视场区域的中心。

5.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述跟踪部对上述摄像部与上述对象基板的相对位置进行控制，以将上述设定部所设定的上述修正区域中的位于视场区域的外周附近的修正区域的中心坐标拖曳至该视场区域的中心。

6.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

还具备中心坐标算出部，该中心坐标算出部计算上述摄像部获取到的图像中所包含的缺陷区域与该图像的边相交的线段的中心坐标，

上述跟踪部对上述摄像部与上述对象基板的相对位置进行控制，以将上述中心坐标拖曳至视场区域的中心。

7.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述图像的视场区域被预先分割为多个分割区域，

对各分割区域预先设定基准点，

上述跟踪部对上述摄像部与上述对象基板的相对位置进行控制，以将基准点中的对包含上述缺陷的至少一部分的分割区域设定的基准点拖曳至上述视场区域的中心。

8.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述跟踪部通过使上述摄像部以将上述缺陷分布于多个图像中的方式拍摄上述缺陷，来对延伸到上述图像外的部分进行跟踪，

上述设定部对通过将上述多个图像粘贴而生成的图像中所包含的上述缺陷设定一个以上的上述修正区域。

9.根据权利要求8所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述跟踪部对上述缺陷的整体图像进行识别，根据所识别出的该整体图像来设定上述摄像部的摄像路径，通过使上述摄像部沿着上述摄像路径拍摄上述缺陷，来对延伸到上述图像外的部分进行跟踪。

10.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述跟踪部在上述缺陷延伸到上述图像外的情况下，通过变更上述摄像部的放大倍率，来对延伸到上述图像外的部分进行跟踪。

11.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述缺陷修正部对上述缺陷进行如下任意一种修正处理：缺陷修正用激光的照射；修正材料的涂布；描绘及转印；以及利用探头对上述缺陷进行的切断、切除、整形。

12.根据权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于，

上述设定部在存在对上述缺陷设定的两个修正区域相互重叠的重叠区域的情况下，从上述两个修正区域中的任一个修正区域中去除上述重叠区域。