[发明专利]带有可转换的齿隙控制的结合强度测试机

权利要求书

1.一种结合测试设备，包括：

主体，

测试工具安装件，所述测试工具安装件用于保持测试工具，

轴向驱动机构，所述驱动机构将所述测试工具安装件联接到所述主体，并允许在轴向方向上的在所述测试工具安装件和所述主体之间的相对运动，以及

齿隙控制元件，所述齿隙控制元件联接到所述主体和所述测试工具安装件，在操作中，所述齿隙控制元件在轴向方向上相对于所述主体偏压所述测试工具安装件，其中，所述齿隙控制元件能在第一状态和第二状态之间转换，在所述第一状态中所述测试工具安装件在第一轴向方向上被偏压，而在所述第二状态中所述测试工具安装件在第二轴向方向上被偏压，或者在所述第二状态中所述控制元件在轴向方向上对所述测试工具安装件不提供偏压力。

2.根据权利要求1所述的结合测试设备，其中所述齿隙控制元件包括气动操作的活塞和气缸。

3.根据权利要求2所述的结合测试设备，其中所述活塞被联接成用于与所述测试工具安装件一起移动，且气缸相对于所述主体固定到位。

4.根据权利要求2或3所述的结合测试设备，其中所述轴向驱动机构包括螺钉和螺母组件，其中所述活塞被联接成用于与所述螺母一起移动，且所述气缸相对于所述螺钉固定到位。

5.根据前述任一项权利要求所述的结合测试设备，还包括：连接到用户界面的控制器，所述控制器和用户界面被构造成允许用户选择结合测试的类型，并且其中所述控制器被连接到所述齿隙控制元件，并根据所选的结合测试的类型来控制所述齿隙控制元件在所述第一状态和所述第二状态之间的转换。

6.根据前述任一项权利要求所述的结合测试设备，其中所述齿隙控制元件提供能被设定在不同力等级下的偏压力。

7.根据权利要求6所述的结合测试设备，其中所述齿隙控制元件包括气动操作的活塞和气缸，并且其中所述气缸能以不同的空气压力设置进行充注，以提供不同的偏压力等级。

8.根据前述任一项权利要求所述的结合测试设备，其中所述齿隙控制元件提供能在所述测试安装件相对于所述主体轴向移动时维持为恒定力的偏压力。

9.根据前述任一项权利要求所述的结合测试设备，其中在所述第一状态中，所述齿隙控制元件对所述测试工具安装件施加向上偏压，并且在所述第二状态期间，所述齿隙控制元件不对所述测试工具安装件施加偏压力。

10.根据前述任一项权利要求所述的结合测试设备，还包括：连接到用户界面的控制器，所述控制器和用户界面被构造成允许用户选择结合测试的类型，并且其中所述控制器被连接到所述齿隙控制元件，并根据所选的结合测试的类型来控制所述齿隙控制元件在所述第一状态和所述第二状态之间的转换，并且其中当用户选择了剪切测试时，所述齿隙控制元件对所述测试工具安装件施加向上偏压，而当用户选择了牵拉测试时，所述齿隙控制元件不对所述测试工具安装件施加偏压力。

11.一种使用结合测试装置通过剪切测试或牵拉测试来测试基片上的结合部的结合强度的方法，所述结合测试装置包括测试工具，所述测试工具通过联接件联接到主体，所述方法包括以下步骤：

选择剪切测试或牵拉测试；

如果选择了剪切测试，则在第一方向上将偏压力施加到所述测试工具上，以消除来自所述联接件的齿隙；

相对于所述结合部定位所述测试工具；

提供所述测试工具和所述基片之间的相对运动，以从所述基片剪切掉所述结合部；以及

记录由所述结合部施加到所述测试工具的力。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括如下步骤：如果选择了牵拉测试，则在第二方向上将偏压力施加到所述测试工具上，以消除来自所述联接件的齿隙。

13.根据权利要求11或12所述的方法，其中施加偏压力的步骤包括：操作联接在所述测试工具和所述主体之间的气动气缸和活塞。

14.根据权利要求11-13中任一项所述的方法，其中所述第一方向为向上的方向，而所述第二方向为向下的方向。

15.根据权利要求11-14中任一项所述的方法，还包括如下步骤：在将偏压力施加到所述测试工具上之前相对于所述结合部初始定位所述测试工具，并且在将偏压力施加到所述测试工具上之后相对于所述结合部更精确地定位所述测试工具。