[发明专利]一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

权利要求书

1.一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成；

其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光，包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2；

全息激光读数头1发出的光线经光学透镜组1和调节透镜1后变为平行光，然后经分光镜1、分光镜2和显微光学物镜头后聚焦到测量样板；全息激光读数头2发出的光线经光学透镜组2和调节透镜2后变为平行光，然后经分光镜2和显微光学物镜头后聚焦到测量样板；光线从测量样板反射并经显微光学物镜头后分为三路：其中第一路经分光镜2、分光镜1、调节透镜1和光学透镜组1后达到全息激光读数头1，第二路经分光镜2、调节透镜2和光学透镜组2后到达全息激光读数头2，第三路经分光镜2、分光镜1和调节透镜3后到达CCD摄像机；

全息激光读数头1和全息激光读数头2测量返回的光学信号，进行光电转换后输出对应电信号并将电信号送入电气测量系统进行后期处理；

CCD摄像机将接收到的光学信号转换为数字的视频信号并送入监视系统；

上述全息激光读数头1为纳米级形貌的精准测量元件，采用全息激光读数头等焦的工作原理，全息激光读数头2采用全息激光读数头离焦的工作原理。

2.根据权利要求1所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，其特征在于：所述全息激光读数头1和全息激光读数头2由光源、全息光栅和全息接收器构成，三者采用分体的结构形式。

3.根据权利要求1所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，其特征在于：所述全息激光读数头1和全息激光读数头2由光源、全息光栅和全息接收器构成，三者采用一体的结构形式。

4.根据权利要求1所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，其特征在于：所述全息激光读数头1和全息激光读数头2的光源为红外线、红光、蓝光或者激光。

5.根据权利要求1所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，其特征在于：所述全息激光读数头1和全息激光读数头2的光源输出的电信号为数字信号、模拟信号或数字加模拟信号组合的形式。

6.根据权利要求1所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，其特征在于：包含另外的一个或者一个以上全息激光读数头，以及与每个全息激光读数头配套的光学透镜组、调节透镜和分光镜，另外一个或者一个以上的全息激光读数头工作方式与全息激光读数头2的工作方式相同，采用全息激光读数头离焦的工作原理。

7.根据权利要求1所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，其特征在于：所述的一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器在脱离监视系统的情况下工作，其中调节透镜3、CCD摄像机和监视系统不再起作用。