[发明专利]压力缓冲器、液体喷射头及液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及使流体的压力变动得到缓冲的压力缓冲器，特别是涉及具备将流体的压力变动变换成电信号的功能的压力缓冲器以及使用它的液体喷射头、液体喷射装置。

背景技术

近几年来，向记录纸等喷出墨滴从而描绘文字、图形或者向元件衬底的表面喷出液体材料从而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头，被广泛利用。该方式经由供给管从液体罐向液体喷射头供给油墨或液体材料，使填充于通道中的油墨或液体材料从与通道连通的喷嘴喷出。在喷出油墨之际，使液体喷射头或记录喷射的液体的被记录介质移动，从而记录文字或图形或者形成规定形状的功能性薄膜。这种装置，需要高精度地控制从喷嘴喷出液滴之际的喷出量或喷出速度。所以，需要高精度地控制喷嘴的喷出面中的油墨压力。

例如在专利文献1中，记载了具备用于调整打印头喷出的液体的压力的结构的喷墨记录装置。该喷墨记录装置具备贮存油墨的主罐、接受主罐供给的油墨后将它供给喷墨头的副罐、调整副罐内的内压的泵、为了供给油墨而设置的压力表。在该喷墨记录装置中，按照使用状态，调整副罐内的内压，从而控制油墨内压。例如喷出高粘度油墨时或在预备喷出之际进行气泡排出动作时，进行控制，以使作用于油墨的负压小于打印时。

专利文献1：日本特开2005-231351号公报

可是，在专利文献1所述的喷墨记录装置中，压力表与从液体供给管路的一部分处分支的配管连接。因此，在液体供给管路的内部流通的液体往往进入压力表侧。液体喷射头高速往复移动。特别是在液体喷射头的移动方向反转时或急剧加速时，内部压力在配管内的液体的惯性的作用下变动。由于该压力变动，液体进入压力表的内部，进而使进入的油墨或液体增粘或者固化，从而导致压力表的检测精度下降。其结果，存在着油墨或液体材料的压力控制不理想、记录品质下降等课题。

近几年来，这种装置的体积越来越大，记录速度也越来越快。伴随着装置的大型化，固定的油墨等的液体罐和移动的液体喷射头之间的配管距离越来越长。通常在这种装置中，为了使液体喷射头的喷嘴中的液体的弯液面或从喷嘴喷出的液滴的喷出速度固定，而需要控制喷出区域的液体的内压。可是配管距离变长后，在内部流动的液体的流路阻力就要增加，流路导致的压力损失就会增大。进而伴随着液体喷射头的移动距离及移动速度的增大，液体的惯性导致的内压变动也增大。因此，需要更加高精度地控制喷出区域的液体的内压，并且还需要进一步强化缓冲液体的内压变动的缓冲功能。本发明就是针对上述情况研制的，其目的在于能够使液体的压力变动得到缓冲，并且还能够不受液体的性质的影响地检测该压力变动。

发明内容

本发明的压力缓冲器，具备：主体部，包括具有开放口的凹部、和在所述凹部的内表面开口并与外部区域连通的连通孔；可挠性薄膜，堵塞所述开放口并缓冲被所述堵塞的凹部内包的流体的压力变动；检测部，挂扣在所述主体部上并检测出电磁感应产生的电动势，从而检测所述可挠性薄膜和所述主体部之间的相对位置变化。

另外，所述检测部具备生成磁力线的发送线圈和感应所述电动势的接收线圈。

另外，还具备弹性部件，该弹性部件的一端挂扣在所述可挠性薄膜上，另一端挂扣在所述主体部上。

另外，还具备基准部件，该基准部件由与所述可挠性薄膜挂扣的导电性材料或磁性材料构成。

另外，还使所述弹性部件在所述基准部件和所述主体部之间连接。

另外，所述基准部件和所述弹性部件是单一的部件。

另外，还具备位置调整部，该位置调整部用于调整所述基准部件和所述主体部之间的位置。

另外，还在所述弹性部件和所述主体部之间设置有所述位置调整部。

另外，还具备外罩，该外罩设置在所述主体部上，以覆盖所述可挠性薄膜；在所述外罩的所述可挠性薄膜的一侧设置有所述检测部，所述检测部和所述主体部经由所述外罩挂扣。

另外，所述发送线圈和所述接收线圈，分别具有平面形状，所述发送线圈的中心和所述接收线圈的中心在平面图上一致地层叠。

另外，所述发送线圈和所述接收线圈的外形形状相同。

另外，所述发送线圈和所述接收线圈，分别具有平面形状，所述发送线圈的一部分和所述接收线圈的一部分在平面图上重叠地层叠。

另外，所述发送线圈和所述接收线圈，分别具有平面形状，所述发送线圈和所述接收线圈在平面图上互不重叠。

另外，所述发送线圈和所述接收线圈，分别具有互相平行的平面形状，从垂直于所述平面形状的面的法线方向上看，所述基准部件的外形具有所述发送线圈及所述接收线圈的外形以上的大小。