[发明专利]真空压印装置、真空压合装置及层状光学组件的制造方法

权利要求书

1.一种真空压印装置，其特征在于，包含：

一真空室；

一下载台，设置于该真空室内，用以承载一基板，其上设置有一光学胶层；

一上载台，相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一模板，该上载台能朝向该下载台移动以使该模板压印一图案于该光学胶层上；以及

一固化装置，用以固化该压印的光学胶层以形成一光学层于该基板上。

2.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含多个L形夹持件，设置于该上载台上以形成一滑槽，用以夹持该模板。

3.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含一磁铁，可移动地设置于该上载台中，用以吸附该模板于该上载台上。

4.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含三伺服轴，与该上载台连接，用以驱动该上载台相对于该下载台移动。

5.如权利要求4所述的真空压印装置，其特征在于，还包含三间隙感测装置，对应该三伺服轴设置于该下载台，用以控制该上载台的移动。

6.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，该固化装置包含一紫外光灯，用以照射紫外光于该光学胶层以固化形成该光学层。

7.如权利要求6所述的真空压印装置，其特征在于，该下载台为透明，该紫外光灯设置于该下载台下方。

8.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含一顶针，贯穿该上载台设置，用以顶弯该模板。

9.如权利要求1所述的真空压印装置，其特征在于，还包含一吹气装置，设置于该下载台旁，用以朝向该模板与该光学层吹气。

10.一种真空压合装置，其特征在于，包含：

一真空室；

一下载台，设置于该真空室内，用以承载一基板，其上形成有一第一光学层，该第一光学层上设置有一光学胶层；

一上载台，相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一保护膜，该上载台能朝向该下载台移动以使该保护膜平铺于该光学胶层上；以及

一固化装置，用以固化该光学胶层以形成一第二光学层于该第一光学层上。

11.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，还包含二磁铁及二固定板，该磁铁设置于该上载台内，该固定板对应该磁铁吸附于该上载台上，用以固定该保护膜。

12.如权利要求11所述的真空压合装置，其特征在于，还包含一工具，该工具包含二真空吸盘，用以利用该真空吸盘吸附该保护膜，再伸入该真空室中以固定该保护膜于该上载台上。

13.如权利要求11所述的真空压合装置，其特征在于，该上载台包含多个通气孔，用以对该通气孔抽气以真空吸附该保护膜于该上载台上，以及用以对该通气孔通气以自该上载台分离该保护膜。

14.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，还包含三伺服轴，与该上载台连接，用以驱动该上载台相对于该下载台移动。

15.如权利要求14所述的真空压合装置，其特征在于，还包含三间隙感测装置，对应该三伺服轴设置于该下载台，用以控制该上载台的移动。

16.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，该固化装置包含一紫外光灯，用以照射紫外光于该光学胶层以固化形成该第二光学层。

17.如权利要求16所述的真空压合装置，其特征在于，该上载台为透明，该紫外光灯设置于该上载台上方。

18.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，该下载台还包含一加热装置，用以加热该光学胶层。

19.如权利要求10所述的真空压合装置，其特征在于，该保护膜具有一配向结构，用以压印该配向结构于该光学胶层上。