[发明专利]基板保持装置及使用该基板保持装置的缺陷修正装置

说明书

技术领域

本发明涉及基板保持装置及使用该基板保持装置的缺陷修正装置，尤其涉及将基板吸住并保持的基板保持装置及使用这种基板保持装置对图案的缺陷进行修正的缺陷修正装置。

背景技术

在液晶显示器的制造工序中，有时会在形成于基板的微细图案上产生缺陷。尤其是，作为滤色器的工序中发生的缺陷，会有像素颜色脱落的称为白色缺陷的缺陷和像素颜色混杂的称为黑色缺陷的缺陷。此外，还有在像素的表面附着有异物等的异物缺陷。

在缺陷修正装置中，基于预先由检测装置得到的检测结果的数据来对齐基板的位置。接着，操作者通过光学观察系统确认缺陷的大小和形状来确定修正条件。此时，必不可少的是通过将规定的光照射至缺陷并观察透过基板的透过光来掌握缺陷的状态。此外，为了确认缺陷修正后的修正状态，利用透过光进行观察也是不可缺少的。

在此，对这种包括利用透过光进行观察的光学观察系统的一般的缺陷修正装置进行说明。如图27所示，在缺陷修正装置101中，在装设基板的透明的平台102的下方配置有向基板照射出规定的光的照明光源103。在平台102的上方配置有对透过基板的透过光进行观察的光学观察系统104。

近年来，为了与液晶显示器的大画面趋势相对应，所使用的玻璃板(样品玻璃(mother glass))的尺寸也变得大型化，例如开始使用2850×3050mm的玻璃板。为了对发生在这种尺寸的玻璃板上的缺陷进行修正，作为缺陷修正装置的平台的尺寸，需要比上述玻璃板的尺寸更大的尺寸。作为这种平台，通常采用透明的玻璃板。然而，在玻璃板的厚度和尺寸上存在限制，因此利用一块玻璃板来形成平台还处于困难的境地。

最近，提出一种将多张玻璃板结合而成的平台。然而，在这种平台中，当通过透过光进行观察时，有时会有玻璃板与玻璃板结合的部分成为阴影而无法进行正确观察的情形。此外，为了将基板固定于平台，需要在构成平台的玻璃板上形成真空吸附用的槽。但是，上述槽在通过透过光进行观察时有时会成为阴影等而阻碍观察。

此外，在将基板相对于缺陷修正装置搬入、搬出时，多采用机械手进行基板的搬运。如图28所示，在作为平台采用透明玻璃板的平台102中，在平台(玻璃板)102中设有通孔，并配置有可穿过该通孔的起模顶杆(lift pin)111。在搬入基板时，进行如下动作。

首先，使起模顶杆111从平台102的通孔突出。接着，将基板199配置在起模顶杆111上方。接着，使机械手110下降来将基板199放置在起模顶杆111上。接着，使机械手110进一步下降来使机械手110退让。此外，使起模顶杆下降来将基板放置在平台上。另一方面，在搬出基板时，进行与上述动作相反的动作。

在应用这种基板保持装置的缺陷修正装置中，为进行基板的搬运，需要将使起模顶杆动作的机构组装于基板保持装置，使得其在结构上变得复杂。此外，需要使起模顶杆的动作与机械手的动作同步，在缩短基板搬运时间上有局限性。

作为消除以上这些问题的缺陷修正装置，在日本专利特开2009-2928号公报中，提出了应用了没有采用透明平台的基板保持装置的缺陷修正装置。在该缺陷修正装置的基板保持装置中，由于没有采用透明平台，因此能在基板的整个面上通过透过光进行观察。此外，由于没有采用透明平台，因此在将基板相对于基板保持装置搬入、搬出时，不需要用于搬运基板的机构，也能比较简单地进行搬运基板的动作，还能缩短搬运基板所需的时间。

然而，在上述现有的缺陷修正装置的基板保持装置中，存在以下问题。在该基板保持装置中，不使用透明平台，而是采用由许多支承构件来对基板予以支承的方式。即采用如下方式：在基板的下方设置吸附台，通过使设置于该吸附台的抵接部与支承构件侧的凸轮滚柱接触，来使支承构件离开基板，在穿过该缝隙后使吸附台在基板下方移动。

因此，为了减缓吸附台的抵接部与支承构件侧的凸轮滚柱相接触时的冲击，需要将抵接部的形状形成为复杂的曲面。此外，为了根据支承构件的位置来调整支承构件的返回速度，需要采用弹簧、减震器(shock absorber)，并根据各自的位置来进行强度调整。其结果是，存在机构上和调整作业上变得非常复杂这样的问题。

发明内容

本发明为解决上述问题而作，其目的之一在于提供一种能以更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置，其另一目的在于提供一种适用上述基板保持装置的缺陷修正装置。