[发明专利]一种表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201110050053.0 | 申请日： | 2011-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102655401A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;刘明;谢常青;霍宗亮;张满红;龙世兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;G01N29/22;G01N29/036 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 no sub 气体 传感器 敏感 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，该方法是在表面波延迟线的传播路径或声表面波谐振器上沉积非金属碲，形成敏感薄膜。
2.根据权利要求1所述的表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，所述敏感薄膜以非金属碲为敏感膜材料。
3.根据权利要求1所述的表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，所述敏感薄膜的厚度随声表面波器件频率而变化，范围在10nm-5000nm之间。
4.根据权利要求1所述的表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，所述在表面波延迟线的传播路径或声表面波谐振器上沉积非金属碲，采用热蒸发或者磁控溅射方式。
5.根据权利要求1所述的表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，该方法在沉积非金属碲之后还包括：对沉积非金属碲薄膜进行热处理使膜钝化。
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