[发明专利]一种光学盲点的激光加工方法及激光加工装置

权利要求书

1.一种光学盲点的激光加工方法，包括对激光器产生的激光进行聚焦，使焦点落于反射镜表面，然后调节反射镜将激光的焦点反射至工件上，对工件进行加工。

2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述反射镜对激光的反射率为99.5%以上。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于，所述反射镜可对波长为532nm、808nm、1064nm或10640nm的激光中的一种或多种进行反射。

4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于，所述反射镜包括基材和位于基材表面的反射膜；所述基材选光学玻璃、铜、金、氟化钙、硅中的一种或多种，所述反射膜厚度为2-10um，反射膜选自三氧化二铝膜、氧化硅膜、HFO2膜或LaF₃/MgF₂膜中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的激光加工方法，其特征在于，所述反射膜至少包括三氧化二铝膜、氧化硅膜、HFO₂膜或LaF₃/MgF₂膜中的两种。

6.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述激光器选自气体激光器、固体激光器或半导体激光器中的一种或多种。

7.一种激光加工装置，包括激光器、光路系统和程序控制单元；所述光路系统与激光器连接，并可对激光的运动和聚焦进行控制；所述程序控制单元与激光器和光路系统连接，并可对激光的产生和运动路线进行控制；

其特征在于，所述激光加工装置还包括反射镜，所述反射镜可将激光的焦点反射至工件上，实现对工件的加工。

8.根据权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，所述反射镜设置于光路系统和工件之间，由光路系统产生的激光焦点落于反射镜表面，通过反射镜反射到工件上。

9.根据权利要求7或8所述的激光加工装置，其特征在于，所述反射镜可对波长为532nm、808nm、1064nm或10640nm的激光中的一种或多种进行反射。

10.根据权利要求9所述的激光加工装置，其特征在于，所述反射镜包括基材和位于基材表面的反射膜；所述基材选自光学玻璃、铜、金、氟化钙、硅中的一种或多种，所述反射膜厚度为2-10um，反射膜选自三氧化二铝膜、氧化硅膜、HFO₂膜或LaF₃/MgF₂膜中的一种或多种。

11.根据权利要求7或8所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光器选自气体激光器、固体激光器或半导体激光器中的一种或多种；所述光路系统包括设置有聚焦镜的扫描振镜，所述聚焦镜的焦距为150-300mm。