[发明专利]自动光学检验设备及其校正方法无效
申请号: | 201110046752.8 | 申请日: | 2011-02-25 |
公开(公告)号: | CN102156357A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 周炳宏;贺成明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01N21/958 |
代理公司: | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 光学 检验 设备 及其 校正 方法 | ||
1.一种自动光学检验设备,其特征在于,包括:
一机台,包括用于放置产品片的第一固定座,以及用于放置标准片的第二固定座,第二固定座设置于第一固定座上方;以及
一第一摄像件,设置于所述机台上方,用于在预定时刻向上移动一预定距离,再对第二固定座上的标准片进行扫描以实现校正。
2.如权利要求1所述的自动光学检验设备,其特征在于:所述第一摄像件在校正后向下移动所述预定距离,对所述第一固定座上的产品片进行扫描。
3.如权利要求1所述的自动光学检验设备,其特征在于:所述第二固定座可相对第一固定座移动。
4.如权利要求1所述的自动光学检验设备,其特征在于,进一步包含:一光源装置,设置于所述机台上方并位于所述第一摄像件一侧,用于对所述第一固定座及所述第二固定座提供照明。
5.如权利要求1所述的自动光学检验设备,其特征在于,进一步包含:一第二摄像件,设置于所述机台下方,所述第二摄像件是与所述第一摄像件同步对第一固定座上的产品片进行扫描。
6.如权利要求4所述的自动光学检验设备,其特征在于:所述光源装置为一照射角度可调的光源装置。
7.一种自动光学检验设备的校正方法,其特征在于:所述自动光学检验设备的校正方法是由一自动光学检验设备执行,其中所述自动光学检验设备包含一机台及一第一摄像件,所述机台包括用于放置产品片的第一固定座,以及用于放置标准片的第二固定座,第二固定座设置于第一固定座上方;
所述第一摄像件设置于所述机台上方;所述自动光学检验设备的校正方法包含下列步骤:
第一摄像件在预定时刻时向上移动一预定距离,再对第二固定座上的标准片进行扫描以实现校正。
8.如权利要求7所述的自动光学检验设备的校正方法,其特征在于:所述第一摄像件在校正后向下移动所述预定距离,继续对所述第一固定座上的产品片进行扫描。
9.如权利要求7所述的自动光学检验设备的校正方法,其特征在于:所述自动光学检验设备进一步包含一光源装置,设置于所述机台上方并位于所述第一摄像件一侧,用于对所述第一固定座及所述第二固定座提供照明。
10.如权利要求8所述的自动光学检验设备的校正方法,其特征在于:所述自动光学检验设备进一步包含一第二摄像件,设置于所述机台下方,所述第二摄像件是与所述第一摄像件同步对第一固定座上的产品片进行扫描。
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