[发明专利]一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂

权利要求书

1.一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其组份中含有高分子粘合剂、游离基光引发剂、可加聚单体、增塑剂以及热聚合抑制剂，其特征在于组份中还含有含羟基改良的氯乙烯/乙烯醋酸酯高分子聚合物的粘着添加剂，数量为0.5-2％，以干膜可光聚组分总量为基准。

2.按权利要求1所述的一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其特征在于其组份中按重量百分比计，高分子粘合剂为30-75％，游离基光引发剂为2-10％，可加聚的单体为5-40％，增塑剂为2-30％；热聚抑制剂为0.003-0.04％，羟基改良的乙烯氯/乙烯醋酸酯高分子聚合物为0.5-2％。

3.按权利要求1或2所述的一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其特征在于其组份中按重量百分比计，高分子粘合剂为45-60％；游离基光引发剂为3-7％；可加聚的单体为15-25％；增塑剂为9-15％；热聚抑制剂为0.01-0.02％，羟基改良的乙烯氯/乙烯醋酸酯高分子聚合物为0.5-1％。

4.按权利要求1所述的一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其特征在于组分中可加聚单体是选自：亚乙基二丙烯酸酯；二甘醇二丙烯酸酯，甘油二丙烯酸酯，甘油三丙烯酸酯，1，3-丙烯酸酯，1，2，4-丁三醇三甲丙烯酸酯，1，4-苯二酚二甲丙烯酸酯，1，4-环乙二醇二丙烯酸酯；季戊四醇三-和四甲基丙烯酸酯；季戊四醇三一和四丙烯酸酯，季戊四醇三和四甲基丙烯酸酯；季戊四醇三和四丙酸酯；四甘醇二甲基丙烯酸酯，三羟甲基丙烷三甲丙烯酸酯，三甘醇二丙烯酸酯；四甘醇二丙烯酸酯，季戊四醇三丙烯酸酯；三羧甲基丙烷基三丙烯酸酯季戊四醇四丙烯酸酯；1，3-丙二醇二丙烯酸酯；1，5-戊二醇二甲基丙烯酸酯；聚丙二醇及聚乙二醇/聚丙二醇共聚合物的二丙烯酸酯及二甲基丙烯酸酯，其数目平均分子量为200-600。

5.按权利要求1所述的一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其特征在于组分中热聚抑制剂选自：p-甲氧基苯酚，氢苯醌，烷基和芳香基取代的氢苯醌和苯醌，特丁基邻苯二酚，连苯三酚，铜树脂酸盐，β-萘酚，2，6-二特丁基-p-甲酚，2，2’-亚甲基-二(4-乙基-6-特丁基苯酚)，p-甲苯苯醌，四氯苯醌，芳基亚磷酸盐。

6.按权利要求1所述的一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其特征在于所述的羟基改良的氯乙烯/乙烯醋酸酯高分子聚合物含有1-15％的羟基基团。

7.按权利要求1所述的一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂，其特征在于所述的增塑剂为含有羧基聚氨酯，分子量为10000-100000，自由羧基在聚合物的主链，至少含有一个烯键不饱和终端基团。