[发明专利]硅片制绒槽隔液式均匀加热装置

说明书

技术领域：

本发明涉及单晶硅槽式制绒设备，尤其涉及单晶硅槽式制绒设备中的加热装置。

背景技术：

随着太阳能电池生产技术的不断提升，对于太阳能电池产品的质量以及成本提出了新的要求。制绒工艺是太阳能电池整个工艺生产线中最为重要的一环，其目的是为了去除切割后硅片的表面损伤层，同时通过化学腐蚀的方法在硅片表面进行织构化处理，形成良好的陷光效应，降低硅片表面发射率。目前，通用的生产工艺是采用槽式制绒设备，在制绒槽中加入强碱KOH或者NaOH溶液，在60°～80°左右的温度条件下，用KOH或者NaOH溶液对硅片进行各向异性腐蚀，在硅片表面腐蚀出类似于金字塔结构的角锥体，从而增加入射光的反射次数，降低表面反射率，提高吸光效率。在制绒过程中，制绒槽内腐蚀液的浓度均匀性和温度场的均匀性对大批量工业化制绒生产质量的稳定性影响很大，所以，在实际生产过程中，制绒槽内的温度场的稳定性是非常重要的一个影响因子。目前，通常采用在制绒槽的底部间隔地布设2～3根不锈钢管式加热器或特氟龙管式加热器，以此对制绒槽内腐蚀液进行局部加热，这种局部加热方式只能对与加热管接触的液体进行快速加热，然后再通过对流的方式来传递热量，慢慢提高制绒槽内液体的温度。这种局部加热升温方式，很难使制绒槽内腐蚀液温度场满足制绒的温度均匀性要求，要使整个制绒槽内的腐蚀液温度场满足制绒的温度均匀性要求，必须等足够的时间，通过对流方式来升温并达到温度场的均化要求，不仅降低了制绒设备的产能，而且也会造成制绒质量的不稳定，不能满足规模化制绒工艺的生产要求。

发明内容：

为了克服现有硅片制绒设备中加热装置存在的上述不足，本发明提供了一种硅片制绒槽隔液式均匀加热装置。它能对制绒槽内的液体进行均匀加热，提高温度场稳定性，较好地满足制绒工艺对腐蚀液温度场的均匀性要求。

本发明采取的技术方案是：

一种硅片制绒槽隔液式均匀加热装置，其特征是：包括隔热底座、电加热线圈、不锈钢板、耐腐粘接胶层和制绒槽体，在隔热底座上设有布置电加热线圈的凹槽，凹槽的深度大于电加热线圈的直径，电加热线圈布设在凹槽中，不锈钢板设置在隔热底座的上方，制绒槽体通过耐腐粘接胶层与不锈钢板粘接成一体，不锈钢板的散热面积与制绒槽的底部相当。

进一步，不锈钢板的厚度为1.2～3mm，在不锈钢板与隔热底座之间设有紫铜块，紫铜块的上端面与不锈钢板紧密接触。

由于在制绒槽的底部设置了不锈钢板的面式均匀加热装置，在不锈钢板的下面设置了电加热线圈，电加热线圈先对整个不锈钢板进行加热然后均匀地传导给制绒槽中的腐蚀液，这样，制绒槽就相对一只加热锅，不锈钢板就相当于锅底，电加热线圈是加热源，不锈钢板整面与液体接触，加热温度均匀，不会存在局部高局部低的情况。由于同一种液体温度高的比重要比温度低的小，因此，与不锈钢板接触的液体加热后不断上移，温度低液体不断下移，形成上下对流，这样不仅加速了整个制绒槽内液体温度上升的速度，而且提高了制绒槽内液体温度场均匀性，克服了现有技术的不足，在制绒过程中不需要对腐蚀液进行搅拌，也不需要经过长时间等待才能形成均匀稳定的温度场，为制绒提供一个更均匀更稳定的温度环境，从而提高制绒质量。

附图说明：

图1为实施例1的结构示意图；

图2为实施例2的结构示意图；

图3为电加热线圈的分布连接示意图；

图中：1-隔热底座；2-电加热线圈；3-不锈钢板；4-耐腐粘接胶层；

5-制绒槽体；6-紫铜块；11-凹槽。

具体实施方式：

下面结合附图说明本发明的具体实施方式：

实施例1：一种硅片制绒槽隔液式均匀加热装置，包括隔热底座1、电加热线圈2、不锈钢板3、耐腐粘接胶层4和制绒槽体5，在隔热底座1上设有布置电加热线圈2的凹槽11，凹槽11的深度大于电加热线圈2的直径，电加热线圈2布设在凹槽11中，不锈钢板3设置在隔热底座1的上方，制绒槽体5通过耐腐粘接胶层4与不锈钢板3粘接成一体，不锈钢板3的散热面积与制绒槽的底部相当。当电加热线圈2通电加热时，电加热线圈发出的热量首先使整个不锈钢板3的温度均匀升高，制绒槽中的液体由不锈钢板3同步均匀加热，这样不仅加速了整个制绒槽内液体温度上升的速度，而且提高了制绒槽内液体温度场均匀性，为制绒提供一个更均匀更稳定的温度环境，为提高制绒质量提供了工艺保证。

实施例2：在实施例1中，所述不锈钢板3的厚度为2mm，在不锈钢板3与隔热底座1之间设有紫铜块6，紫铜块6的上端面与不锈钢板3紧密接触。紫铜块6具有良好的热传导性能，当电加热线圈2通电加热时，电加热线圈2发出的热量首先由紫铜块6吸收，然后传给不锈钢板3，使之温度均匀升高，制绒槽中的液体由不锈钢板3同步均匀加热。