[发明专利]全局金属膜厚度测量装置有效
| 申请号： | 201110046521.7 | 申请日： | 2011-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN102175133A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;曲子濂;路新春;赵乾;何永勇;孟永钢;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全局 金属膜 厚度 测量 装置 | ||
1.一种全局金属膜厚度测量装置，包括底座(10)，其特征在于，底座(10)上固定有转台(20)和直线单元(30)，转台(20)包括定子部分(21)和转子部分(22)，定子部分(21)固定在底座(10)上，转子部分(22)上固定工作台(50)，工作台(50)内有真空管路，转子部分(22)的旋转接头(23)与所述真空管路相连，直线单元(30)包括导轨(31)和可沿导轨(31)滑动的滑块(32)，导轨(31)固定在底座(10)上，滑块(32)上固定连接水平的悬臂(40)，悬臂(40)的另一端设置有与工作台(50)台面相对的测头(80)，测头(80)内设置电涡流探头(82)。
2.根据权利要求1所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，所述直线单元(30)为直线电机，或者为导轨丝杠单元配合电机，悬臂(40)固定在电机上。
3.根据权利要求1所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，所述电涡流探头(82)为轴对称线圈(821)。
4.根据权利要求1所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，电涡流探头(82)由信号发生器提供信号，并由信号采集卡采集探头信号。
5.根据权利要求4所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，所述信号发生器提供信号为1KHz、2KHz、4KHz、8KHz、16KHz、32KHz、64KHz、128KHz、512KHz、1MHz、2MHz、4MHz、8MHz、16MHz的序列信号。
6.一种全局金属膜厚度测量装置，包括底座(10)，其特征在于，底座(10)上固定有转台(20)和直线单元(30)，转台(20)包括定子部分(21)和转子部分(22)，定子部分(21)固定在底座(10)上，转子部分(22)上固定工作台(50)，工作台(50)内有真空管路，转子部分(22)的旋转接头(23)与所述真空管路相连，直线单元(30)包括导轨(31)和可沿导轨(31)滑动的滑块(32)，导轨(31)固定在底座(10)上，所述滑块(32)与悬臂(40)铰接，滑块(32)上还固定有电磁铁(33)，悬臂(40)一端下方固定与电磁铁(33)相对的铁块(41)，另一端设置有与工作台(50)台面相对的测头(80)，测头(80)内设电涡流探头(82)和竖直的通气孔(81)及节流孔(83)，通气孔(81)和节流孔(83)同轴相连后贯通测头(80)。
7.根据权利要求6所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，所述通气孔(81)的孔径大于节流孔(83)的孔径。
8.根据权利要求6所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，所述电涡流探头(82)为轴对称线圈(821)。
9.根据权利要求6所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，电涡流探头(82)由信号发生器提供信号，并由信号采集卡采集探头信号。
10.根据权利要求6所述的全局金属膜厚度测量装置，其特征在于，所述信号发生器提供信号为1KHz、2KHz、4KHz、8KHz、16KHz、32KHz、64KHz、128KHz、512KHz、1MHz、2MHz、4MHz、8MHz、16MHz的序列信号。
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