[发明专利]金属外壳上形成乳白色膜层的方法无效
| 申请号： | 201110046305.2 | 申请日： | 2011-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN102650036A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 王仲培;廖名扬 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属外壳 形成 乳白色 方法 | ||
1.一种在金属外壳上形成乳白色膜层的方法，包括：
步骤1：提供一金属外壳；
步骤2：利用反应式磁控溅射镀膜工艺，以纯铬为靶材，以氮气为反应气体，于该金属外壳表面形成一氮化铬膜层；以及
步骤3：利用反应式磁控溅射镀膜工艺，以纯铬及纯铝为靶材共溅镀，以氧气为反应气体，在该氮化铬膜层上形成一由氧化铬及氧化铝组成的乳白色膜层，该铝靶材和该铬靶材受轰击的功率比约为12∶1，该反应式磁控溅射镀膜工艺的偏压介于180至220伏特，温度介于摄氏180至220度，时间介于58至62分钟。
2.如权利要求1所述的乳白色膜层的镀制方法，其特征在于，步骤2中，在所述反应式磁控溅射镀膜工艺中向高真空镀制舱内通入的氮气与氩气的比例约为2.3∶1。
3.如权利要求2所述的乳白色膜层的镀制方法，其特征在于，步骤2中，该氩气流量为25sccm，该氮气流量为58sccm。
4.如权利要求1所述的乳白色膜层的镀制方法，其特征在于，该纯铬靶材受轰击的功率为2.5千瓦，该纯铝靶材受轰击的功率为30千瓦。
5.如权利要求1所述的乳白色膜层的镀制方法，其特征在于，步骤3中，在所述反应式磁控溅射镀膜工艺中该金属外壳的公转转速为5转速每分钟，自转转速介于3.3至2.7转速每分钟，该自转方向与该公转方向相反。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110046305.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光学工业用的异形玻璃加工装置
- 下一篇：煤炭深井矿井水一体化处理系统
- 同类专利
- 专利分类
