[发明专利]一种激光光束参数测量装置

权利要求书

1.一种激光光束参数测量装置，包括测量光路和图像采集卡(3)以及计算机(7)；其特征在于：还包括有由滑块(9)、一维运动台(12)和控制器(14)构成的光程调节装置；

所述的测量光路是由聚焦透镜(1)、直角棱镜A(8)、直角棱镜B(2)、直角棱镜C(5)、光强调节器(6)和相机(4)构成；

所述的聚焦透镜(1)为正透镜；

所述的直角棱镜A(8)和直角棱镜B(2)为等腰直角棱镜，其各自的两个直角面上镀有高反射膜；

所述的直角棱镜C(5)为等腰直角棱镜；

直角棱镜A(8)装置在滑块(9)上，滑块(9)装置在一维运动台(12)上；相机(4)、图像采集卡(3)、计算机(7)依次连接；计算机(7)还通过控制器(14)分别连接光强调节器(6)和一维运动台(12)；

聚焦透镜(1)的光轴呈水平状装置；直角棱镜A(8)的非直角面朝向聚焦透镜(1)、并呈垂直方向装置；直角棱镜B(2)的非直角面呈垂直方向、且与直角棱镜A(8)的非直角面相对地装置在聚焦透镜(1)的下部；直角棱镜C(5)的非直角面对应左下方向、且与水平方向呈45度角装置，其下部装置光强调节器(6)；相机(4)装置在光强调节器(6)的下部。

2.根据权利要求1所述的激光光束参数测量装置，其特征在于：所述的光强调节器(6)是由吸收型双光楔光强强度连续调节器。

3.根据权利要求1所述的激光光束参数测量装置，其特征在于：所述的光强调节器(6)是电光型光强度连续调节器。

4.根据权利要求2或3所述的激光光束参数测量装置，其特征在于：直角棱镜A(8)和直角棱镜B(2)的直角面上镀有对400-1100nm波段高反射膜。

5.根据权利要求4所述的激光光束参数测量装置，其特征在于：所述的相机(4)为CCD模拟相机或CCD数字相机或CMOS相机。

6.根据权利要求5所述的激光光束参数测量装置，其特征在于：还包括有由指示光源(13)、反射镜B(11)、反射镜A(10)、直角棱镜C(5)、直角棱镜B(2)、直角棱镜A(8)及聚焦透镜(1)构成的指示光路；反射镜A(10)装置在直角棱镜C(5)的右边，其反射面对应左下方向、且与水平方向呈45度角装置，其下部装置反射镜B(11)；反射镜B(11)的反射面对应右上方向、且与水平方向呈45度角装置，其右边装置指示光源(13)；测量光路和指示光路在聚焦透镜(1)、直角棱镜A(8)、直角棱镜B(2)和直角棱镜C(5)间共光路。

7.根据权利要求6所述的激光光束参数测量装置，其特征在于：所述的指示光源(13)为632.8nm波长、TEM00模式输出的氦氖激光器。