[发明专利]超声波换能器探头

权利要求书

1.一种超声波换能器探头，具有一操作频率，其特征在于该超声波换能器探头包含：

基板，具有多个开孔，其位于该基板的一第一表面上；

超声波换能器阵列，设置于该基板的该第一表面上，该超声波换能器阵列具有至少一共振单元，该些共振单元的厚度为该操作频率的等效1/2波长，且每一共振单元包含：

振荡元件，具有第二表面，且该第二表面对应于该基板的该第一表面的该开孔；以及

压电元件，配置于该第二表面。

2.如权利要求1所述的超声波换能器探头，其中该基板为硅基板，且具有多个半导体元件及布线。

3.如权利要求1所述的超声波换能器探头，其中该些开孔为盲孔或贯孔。

4.如权利要求1所述的超声波换能器探头，其中该振荡元件具有绝缘层，而该第二表面为该绝缘层朝向该基板的表面。

5.如权利要求1所述的超声波换能器探头，其中每一压电元件包含：

第一电极，配置于该振荡元件的该第二表面的局部；

压电材料层，具有相连的第一部分以及第二部分，其中该第一部分配置于该震荡元件的该第二表面上，并位于该第一电极旁，而该第二部分配置于该第一电极的表面；以及

第二电极，覆盖于该振荡元件的该第二表面被该第一电极及该压电材料层暴露出来的局部，并延伸配置于该压电材料层上。

6.如权利要求5所述的超声波换能器探头，其中每一振荡元件还具有第三表面，与该第二表面相对且相对远离该基板，而该第二电极具有面向该开孔的一第四表面，且每一共振单元的厚度为该振荡元件的该第三表面至该第二电极的该第四表面的距离。

7.如权利要求1所述的超声波换能器探头，其中该些振荡元件为柱体。

8.如权利要求1所述的超声波换能器探头，其中该些振荡元件由弹性材料组成，该弹性材料产生形变以驱动该压电元件。

9.如权利要求8所述的超声波换能器探头，其中该弹性材料包含金属或半导体材料。

10.如权利要求9所述的超声波换能器探头，其中该半导体材料包含硅。