[发明专利]液体喷射头

说明书

技术领域

本发明涉及通过压力变动从喷嘴喷射液滴的喷墨式记录头等液体喷射头。

背景技术

作为通过使压力室内的液体产生压力变动而从喷嘴喷射液滴的液体喷射头，例如有喷墨式记录装置(以下简称为打印机)等图像记录装置所使用的喷墨式记录头(以下简称为记录头)、液晶显示器等滤光器的制造所使用的色材喷射头、有机EL(Electro Luminescence)显示器、FED(面发光显示器)等的电极形成所使用的电极材喷射头、生物芯片(生物化学元件)的制造所使用的生物体有机物喷射头等。

而且，在液体喷射头中，有一种构成为通过使与振动板接合的压电元件(压力产生元件的一种)变形，来喷射液滴的喷射头。在该液体喷射头中，通过施加驱动电压(驱动脉冲)来驱动压电元件，使得压力室容积变化，让压力室内贮存的液体产生压力变动，利用该压力变动从喷嘴喷射液滴。

上述压电元件与将COF(Chip On Film)、TCP(Tape Career Package)等用于驱动压电元件的IC安装于聚酰亚胺等基体薄膜的薄膜状布线部件(以下称为可挠性线缆)电连接，经由该可挠性线缆被提供驱动电压(例如参照专利文献1)。压电元件具有下电极膜、压电体层以及上电极膜，通常将一方电极(例如下电极膜)作为多个压电元件共用的共用元件电极，将另一方电极(例如上电极膜)作为各压电元件分别独立地形成图案的个别元件电极。被夹在共用元件电极与个别元件电极之间的压电体层，是通过对两个电极间施加驱动电压而产生压电变形的压电体有源部。

[专利文献1]日本特开2004-034293号公报

然而，在近年的记录头中，期望实现喷嘴的高密度化，从压力产生元件引出的引出布线被高密度排列。因此，其线宽也存在变细的趋势，动辄产生相邻接的布线彼此发生短路而引起连接不良的问题。另外，由聚酰亚胺等构成的可挠性线缆，由于与压电元件侧的布线等接合时的加热、吸湿，而导致在接合部分中特别是排列设置端子而成为长条的端子排列设置方向上膨胀。因此，预先设定的可挠性线缆的端子与压力产生元件侧的端子之间的接合位置会错位，有可能引发连接不良。

并且，在与形成了压力室等液体流路的流路形成基板重叠的振动板上，共用元件电极与个别元件电极电气独立地形成，用于检测振动板的龟裂(裂纹)的裂纹检查图案，被配置在比压力产生元件侧的端子列靠外侧的位置。但是，裂纹检查图案也具有从该图案引出的引出布线的线宽变细的趋势，存在难以确保与可挠性线缆的端子的接合精度的趋势。

发明内容

本发明鉴于这样的情况而提出，其目的在于，提供一种能维持端子接合时的连接可靠性，并且可实现小型化的液体喷射头。

本发明的液体喷射头为了实现上述目的而提出，具备：流路形成基板，其排列设置有与喷嘴连通的压力室；压力产生元件，其隔着振动板被配置于上述流路形成基板，向上述压力室内的液体赋予压力变动；个别电极端子，其与构成上述压力产生元件的一部分的个别电极导通；共用电极端子，其与构成上述压力产生元件的一部分的共用电极导通；以及布线部件，其通过对具有可挠性的绝缘部件施以布线而构成，具有分别与上述个别电极端子及共用电极端子接合的布线端子；

上述个别电极端子及与该个别电极端子接合的布线部件的个别布线端子分别沿各压力室的排列设置方向排列设置，

位于上述端子排列设置方向的端部侧的个别电极端子、和与该个别电极端子接合的个别布线端子中的至少一方，被以相对于位于上述端子排列设置方向的中央部的个别电极端子倾斜的状态配置。

根据该构成，由于个别电极端子以及与该个别电极端子接合的个别布线端子，分别沿各压力室的排列设置方向排列设置，位于端子排列设置方向的端部侧的个别电极端子、和与该个别电极端子接合的个别布线端子中的至少一方，被以相对于位于端子排列设置方向的中央部的个别电极端子在端子排列设置方向倾斜的状态配置，所以在将布线部件的个别布线端子与压力产生元件侧的个别电极端子接合时，接合时的加热、吸湿会导致布线部件在端子排列设置方向上膨胀，即便个别布线端子间的间隔增大，通过使布线部件与压力产生元件侧向与端子排列设置方向交叉的方向相对移动，也能够使端子的接合位置一致。由此，能使个别电极端子与个别布线端子以对位的状态接合，可以维持接合时的连接可靠性，并且实现液体喷射头的小型化。

在上述构成中，优选上述共用电极端子被配置在上述端子排列设置方向的线上，上述共用电极端子、和与该共用电极端子接合的共用布线端子中的至少一方，以相对于位于上述端子排列设置方向的中央部的个别电极端子倾斜的状态被配置。