[发明专利]一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器

权利要求书

1.一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极由内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底以及设有透气孔的电极构成；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。

2.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述三个电极中相邻两个电极间的极间距为30～250μm。

3.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述第一电极与第二电极极板正对面积为0.01～17mm²，第二电极与第三电极极板正对面积为0.01～190mm²。

4.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述第一电极的电极表面的透气孔为1～4个，在电极内侧表面粘接的基底上附着有碳纳米管薄膜。

5.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述第二电极引出极中心设有1～4个引出孔。

6.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述第三电极收集极盲孔与第二电极的引出孔相对应，盲孔的数量为1～4个。

7.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述绝缘支柱分布于三个电极内端面两侧。

8.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述第一电极中设有透气孔的电极板面、第二电极和第三电极均采用硅片材料制作，第一电极中设有透气孔的电极和第三电极内侧面、第二电极的两侧面均设有金属膜。

9.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述透气孔以及引出孔为圆形、三角形、四边形、五边形或六边形。

10.根据权利要求1所述的微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：所述盲孔为圆柱体、圆锥体、3～6棱柱或棱锥体。