[发明专利]行波型直线超声波微电机

权利要求书

1.一种行波型直线超声波微电机，包括定子（1），其特征在于，所述的定子（1）为薄片状环形体，在定子（1）表面设有压电陶瓷环（2）；在定子（1）外边缘分布有驱动机构，在驱动机构侧边沿定子（1）轴向设有若干导轨（3），驱动机构与导轨（3）对应且相接触；在定子（1）的其中一端面上连接有弹性预紧机构。

2.根据权利要求1所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的弹性预紧机构由弹性环（4）和预紧盘（5）构成，弹性环（4）设置在预紧盘（5）与定子（1）之间，预紧盘（5）与导轨（3）相接触。

3.根据权利要求1所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的弹性预紧机构由弹性环（4）和第二定子（6）构成，第二定子（6）为薄片状环形体，第二定子（6）结构与定子（1）相同，第二定子（6）与导轨（3）相接触，第二定子（6）与定子（1）同步同向振动；在第二定子（6）表面设有第二压电陶瓷环（7）。

4.根据权利要求1至3任一所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的定子（1）上设有隔离带（8），隔离带（8）将定子（1）分成外环（1a）和内环（1b） , 隔离带（8）的厚度比外环（1a）和内环（1b）的厚度薄；所述的压电陶瓷环（2）设置在外环（1a）上。

5.根据权利要求4所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的驱动机构与导轨（3）的接触面粘贴有耐磨材料或进行耐磨表面处理。

6.根据权利要求4所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的定子（1）上表面和/或下表面设有压电陶瓷环（2）。

7.根据权利要求6所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的驱动机构为均布在外环（1a）外边缘的驱动孔（9），所述的导轨（3）穿设在驱动孔（9）内且与驱动孔（9）内侧的驱动面相接触。

8.根据权利要求6所述的行波型直线超声波微电机，其特征在于，所述的驱动机构为均布在外环（1a）外边缘的驱动臂（10），在驱动臂（10）的自由端设有与导轨（3）相适应的驱动槽（10a），导轨（3）与驱动槽（10a）内侧的驱动面相接触。