[发明专利]超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法

权利要求书

1.一种超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法，其特征在于：所述超声振动辅助磨削方法是按照以下步骤实现的：

步骤一、将金刚石仿形砂轮(3)安装在平面精密磨削机床的主轴(1)上，将超声振动工作台(2)安装到精密磨床工作台(5)上，将待磨削工件(4)固定在振动工作台(2)上端面的中心处；

步骤二、通过超声发生器向振动工作台施加一维超声振动，同时带动振动工作台上的待磨削工件进行一维超声振动，当磨削平行线性微结构表面时，即V形槽矩阵表面或光栅微结构表面，利用旋转台将一维超声振动台的振动方向调整为与砂轮进给方向平行，控制砂轮颗粒切削方向与砂轮进给方向相反，控制超声发生器的超声振动频率为25～35kHz，超声振动振幅为1～10μm，控制砂轮转速为2000～4000rpm，控制工件进给速度为0.2～2mm/min；

步骤三、将金刚石仿形砂轮(3)调整到第一待加工沟形槽处，待磨削工件(4)和超声振动工作台(2)随精密磨床工作台沿X轴方向进给，同时待磨削工件(4)随超声振动工作台(2)沿X轴方向做超声振动，超声振动与精密磨削同时作用对待磨削工件(4)进行超声振动辅助磨削，当完成第一沟槽加工后，金刚石仿形砂轮(3)沿Z轴方向移动到相邻的第二待加工沟槽处，完成第二沟槽加工，同理依次加工所有的沟槽。

2.根据权利要求1所述的超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法，其特征在于：步骤二中砂轮转速为3000rpm。

3.根据权利要求1或2所述的超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法，其特征在于：步骤二中超声振动振幅为5μm。

4.根据权利要求3所述的超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法，其特征在于：步骤一中采用精密金属基烧结而成的砂轮。

5.根据权利要求4所述的超硬线性微结构表面的超声振动辅助磨削方法，其特征在于：步骤一中采用砂轮浓度为150％的砂轮。