[发明专利]开关及其制造方法、继电器

说明书

技术领域

本发明涉及一种开关及其制造方法以及继电器。具体而言，涉及使用有金属触点的开关及其制造方法、以及以与可动触点部的移动方向垂直的面为触点的开关及其制造方法，此外还涉及使用有该开关结构的继电器。

背景技术

作为使金属触点接触分离且以与可动触点部的移动方向垂直的面为触点(接触面)的MEMS(Micro Electrical-Mechanical Systems)开关，具有专利文献1公开的结构。在该开关11中，如图1(a)所示，在基板12a的上面形成有绝缘层13a，在其之上形成有由Al及Cu等构成的导电层14a，进而，通过使Au等镀敷层15a自导电层14a的上面一直成长至端面而形成有可动触点部17。同样，在基板12b的上面形成有绝缘层13b，在其之上形成有由Al及Cu等构成的导电层14b，进而，通过使Au等镀敷层15b自导电层14b的上面一直成长至端面而形成固定触点部18。而且，如图1(b)所示，使可动触点部17沿箭头方向移动，通过使镀敷层15a的突出区域即可动触点16a和镀敷层15b的突出区域即固定触点16b接触或分离而在可动触点部17与固定触点部18之间进行开关动作。

另外，作为使可动触点与基体基板平行地移动而使可动触点彼此接触或者分离的静电继电器，例如具有专利文献2公开的结构。如图2所示，在该静电继电器21中，通过对可动梳齿状电极22a和固定梳齿状电极23a施加电压而使杆24a弹性地挠曲，同时，通过也对可动梳齿状电极22b和固定梳齿状电极23b施加电压而使杆24b弹性地挠曲，通过使形成于杆24a的前端的可动触点25a和形成于杆24b的前端的可动触点25b接触而将可动触点25a、25b间闭合。另外，通过解除各梳齿状电极22a和23a及可动梳齿状电极22b和23b之间的施加电压而使可动触点25a、25b间分开。在该静电继电器21中，通过利用蒸镀、溅射等将金属膜成膜于杆24a、24b的前端部来制作可动触点25a、25b。

专利文献1：日本特表2006-526267号公报

专利文献2：日本特开平9-251834号公报

在专利文献1的开关11中，由于采用使形成于导电层14a的端面的可动触点16a的表面和形成于导电层14b的端面的固定触点16b的表面接触分离的结构，因而可动触点16a和固定触点16b可在与各镀敷层15a、15b成长方向垂直的面(镀敷表面)彼此接触。但是，由于镀敷层的表面因粗糙而存在微细的凹凸，因而在可动触点16a和固定触点16b接触时的实际接触面积相当小，触点彼此的接触电阻大。

另外，在为了镀敷处理而对导电层14a、14b施加电压时，由于在导电层14a、14b的端面，电场强度高(电力线集中)，因而在突出区域(可动触点16a、固定触点16b)，镀敷覆膜的成长速度大，难以控制触点间的间隔距离。另一方面，由于触点的表面因粗糙而具有不规则的微细凹凸，因而因间隔距离的偏差，触点彼此靠近时，易于在其间产生放电。因此，在这样的开关11中，触点间的间隔距离难以狭小化。

为了消除这样的不良情况，公知的方法是通过研磨等使触点的表面平滑，但是，由于增加触点的研磨工序，而成为开关及继电器成本上升的要因。

专利文献2的静电继电器21也成为使形成于杆24a、24b的端面的可动触点25a、25b的表面彼此接触分离的结构。因此，在该静电继电器21中，可动触点25a、25b在与其蒸镀膜等成长方向垂直的面彼此接触。

但是，从微观上看，这些触点与成长方向垂直的面(触点的表面)相当粗糙，具有不规则且微细的凹凸。因此，从微观上看，触点彼此的接触面积变小，触点闭合时的接触电阻大。另外，由于难以得到相对的触点的各表面的平行度，因而触点彼此的接触电阻容易变得多大。

发明内容

本发明是鉴于上述的技术课题而设立的，其目的在于提供一种不用进行研磨等而平滑地形成触点的接触面，另外可使触点彼此可靠地接触且可减小触点间的接触电阻的开关及其制造方法以及使用该开关的继电器。

本发明的开关具备彼此接触或者分离的多个触点，其特征在于，将与用于形成所述触点的导电层成膜时的成长方向平行的面作为所述触点彼此的接触面。

在本发明的开关中，将触点彼此的接触面形成为与导电层的成长方向平行的面，因此，即使不进行触点的研磨等，也可平滑地形成触点的接触面。因此，触点彼此接触时的接触电阻变小。另外，通过使两触点的接触面变得平滑，既使触点彼此接触均匀，又不易引起触点接触部的破坏。其结果是，可增加开关的开闭寿命，使触点间距离的狭小化。