[发明专利]单元集合中的单元及其制造方法

权利要求书

1.一种单元集合中的单元，其特征在于，包括

功能区域；及

防止裂纹蔓延至所述功能区域的防护结构。

2.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构用于防止切割分离工序中造成的裂纹蔓延至所述功能区域。

3.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构形成在所述单元在切割分离工序中的受压区域。

4.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构沿所述单元集合的单元之间的边界形成。

5.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构包括在所述单元表面形成的图案。

6.根据权利要求5所述的单元，其特征在于，所述防护结构包括从以下形式中选择的图案：网格、多根线条和多个剖切面。

7.根据权利要求6所述的单元，其特征在于，所述防护结构包括金属材料。

8.根据权利要求5所述的单元，其特征在于，所述单元包括多层，其中所述表面是第一层的表面，所述防护结构还包括在第二层的表面形成的第二图案。

9.一种制造单元条带中的单元的方法，其特征在于，包括：

形成功能区域；及

形成用于防止裂纹蔓延至所述功能区域中的防护结构。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括布图所述单元，其中所述布图所述单元包括：

布图所述功能区域；及

布图所述防护结构。