[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，向加工对象物照射激光而进行加工，其特征在于，

具备激光照射机构，所述激光照射机构脉冲振荡激光并以一定的重复频率照射至所述加工对象物的同时进行扫描，

在将所述重复频率设为H，激光的光束直径设为a，激光向同一加工线上的扫描次数设为n，每照射1次脉冲激光的移动距离L设为n/2×a时，

所述激光照射机构将激光的扫描速度S设为L/(1/H)的同时，

将扫描次数为第1次的激光的照射开始位置设为L1，扫描次数为第n次的激光的照射开始位置Ln设为L1+(L/n)×(n-1)，从而在每次扫描时偏移照射开始位置而进行所述照射。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，具备有：

安装夹具，安装从而固定所述加工对象物；以及

冷却机构，在该安装夹具的内部使冷却液流通。

3.一种激光加工方法，向加工对象物照射激光而进行加工，其特征在于，

具有激光照射工序，所述激光照射工序脉冲振荡激光并以一定的重复频率向所述加工对象物进行照射的同时进行扫描，

在所述激光照射工序中，将所述重复频率设为H，激光的光束直径设为a，激光向同一加工线上的扫描次数设为n，每照射1次脉冲激光的移动距离L设为n/2×a时，

将激光的扫描速度S设为L/(1/H)的同时，

将扫描次数为第1次的激光的照射开始位置设为L1，扫描次数为第n次的激光的照射开始位置Ln设为L1+(L/n)×(n-1)，从而在每次扫描时偏移照射开始位置而进行所述照射。

4.如权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于：

在所述加工对象物的加工面粘结树脂薄膜，并从所述树脂薄膜上向所述加工面照射激光。

5.如权利要求3或4所述的激光加工方法，其特征在于：

在所述加工对象物的加工面的相反面粘结金属薄膜，使该金属薄膜粘附于安装夹具，从而将所述加工对象物固定在该安装夹具上而进行所述照射。

6.如权利要求5所述的激光加工方法，其特征在于：

在所述安装夹具的内部使冷却液流通的同时，进行所述照射。