[发明专利]部件测试装置

说明书

本申请是申请日为2009年3月10日、申请号为200910126092.7、发明名称为“部件测试装置以及部件输送方法”的专利申请的分案申请，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及进行半导体芯片等这样的电子部件的测试的部件测试装置，以及适合使用该部件测试装置输送部件的部件输送方法。

背景技术

通常，在半导体芯片等这样的电子部件的制造工序中，对上述电子部件进行各种各样的测试。在上述测试中，通常使用被称作IC处理机(IChandler)的部件测试装置。在这样的部件测试装置中设置有多个输送装置，其中，这些输送装置用于将被测试的电子部件输送到部件测试装置内部中的规定的各个位置(例如供给位置、测试位置和排出位置)。这些输送装置或者将测试前的电子部件提供给部件测试装置，或者将测试前的电子部件配置在部件测试装置内的测试座(test socket)上，或者将测试完毕的电子部件从测试座上取下，或者将测试后的电子部件从部件测试装置排出。如果详细叙述，则是进行如下的动作：例如，通过作为输送装置的供给自动装置(robot)将测试前的电子部件装载在梭(shuttle)上，该梭将测试前的电子部件输送直至测试座的附近。在测试座的附近，作为输送装置的测定自动装置(输送爪)保持装载在梭上的测试前的电子元部件，同时输送至测试座并配置在测试座上。此外，测定自动装置在保持结束了测试的电子部件的同时，将该电子部件从测试座装载在梭上。该梭将结束了测试的电子部件输送直至作为输送装置的回收自动装置附近。然后，回收自动装置保持结束了测试的电子部件，并将该电子部件分配给与测试结果相对应的各回收托盘。

例如在日本特开2002-148307号公报中公开有上述部件测试装置的一个例子。在该公报的装置中，部件测试装置、即IC处理机包括排列在一条直线上的多个测试座、以及配置成分别跨越该测试座的多对输送爪。各输送爪包括用于吸附电子部件的吸附机构、以及用于将电子部件压入测试座的压入机构。

上述多个测试座的排列不是不变的，而是可以根据对电子部件进行的测试内容或电子部件的大小等而适当地变化的。而且，这些多个测试座并不必须限定于用于相同内容的测试，如果将其用于各个座、或几个座的各个组不同的测试，则根据测试的内容，测试座的形状无需是所谓的座状。因此，从这个意义上说，测试座更适于称为功能台(station)。然而，上述公报的输送爪以与排列在一条直线上的多个测试座相对应的方式包括吸附机构和压入机构等。因此，即使根据测试对象的电子部件或测试内容的变更等来变更测试座的排列和方式，也无法灵活地应对该变更。

发明内容

本发明的目的在于提供部件测试装置以及部件输送方法，其可以提高由输送爪执行的电子部件的输送以及配置所涉及的自由度。

为了实现上述目的，本发明的第一方面提供了用于进行电子部件测试的部件测试装置。该部件测试装置包括：部件供给装置，用于将上述电子部件提供到供给位置；输送爪，用于保持上述电子部件，以便将上述电子部件从上述供给位置输送到设置在测试位置上的多个功能台，并将测试完毕的电子部件从上述功能台输送到排出位置；以及部件排出装置，用于将上述电子部件从上述排出位置输出，其中，上述多个功能台相互具有不同的功能，沿上述输送爪的移动方向等间隔地排列上述多个功能台，上述输送爪包括多个定位单元，其中，上述定位单元分别保持上述电子部件且相互独立地驱动，上述多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置的上述电子部件的输送方向以与上述功能台的排列间隔相同的间隔被排列。