[发明专利]微分型电迁移率分级装置、粒子测量系统以及粒子筛选系统

权利要求书

1.一种微分型电迁移率分级装置，其根据电迁移率来对带电的粒子进行分级，其特征在于，包括：

分级槽，其中依次配置有彼此相隔规定距离且相对而设的n个面状电极，所述电极具有使带电的粒子穿过的狭缝；

气体供给部，其对所述分级槽供给鞘气；以及

电压供给部，其在所述分级槽内的彼此相对的所述电极间施加规定的电压，

并且，所述分级槽具有在每组彼此相对的所述电极之间形成的，将带电粒子进行分级的n-1级的分级部，

所述n为3以上的整数，所述气体供给部对供给到所述分级槽的所述鞘气的流量，在所述每个分级部分别进行控制。

2.根据权利要求1所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

在所述分级部的至少一个中，彼此相对的所述电极所具有的狭缝之间的，在所述鞘气的流线方向上的相对的位置关系是可变的。

3.根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

在至少一组的相邻的所述分级部间，所述鞘气的流线方向彼此相反。

4.根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

所述电压供给部分别控制施加到每组彼此相对的所述电极间的电压。

5.根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

n个所述电极为平板形状且以相互平行的方式配置在所述分级槽内。

6.根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

具有用以将带电的粒子取出到分级槽外的所述狭缝的所述电极，在此电极中的不同高度的位置上具有多个所述狭缝。

7.根据权利要求6所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

所述气体供给部对每个所述分级部而分别控制所述鞘气的流线方向。

8.根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

所述气体供给部对每个所述分级部，以与来自此分级部的鞘气的排出流量实质上相同的流量而供给鞘气。

9.根据权利要求2所述的微分型电迁移率分级装置，其特征在于：

包括位置改变机构，此位置改变机构通过使相对的所述电极沿着所述鞘气的流线方向或其反方向相对移动，来变更所述狭缝之间的相对的位置关系。

10.一种粒子测量系统，其特征在于，包括：

根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置；以及粒子成分测量装置，其对通过此微分型电迁移率分级装置而分级的粒子的化学成分进行分析。

11.一种粒子筛选系统，其特征在于，包括：

根据权利要求1或2所述的微分型电迁移率分级装置；以及粒子筛选装置，其对通过此微分型电迁移率分级装置而分级的特定粒径的粒子进行筛选并加以回收。