[发明专利]一种硼掺杂玻璃炭材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110033224.9 申请日: 2011-01-30
公开(公告)号: CN102618841A 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 吴峻峰;白朔;许力;成会明;徐红军;周序科;罗川;周金玉 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 张志伟
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 掺杂 玻璃 材料 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种硼掺杂玻璃炭材料,其特征在于:硼掺杂玻璃炭材料中的硼含量为2~15at.%,其余为玻璃炭。

2.按照权利要求1所述的硼掺杂玻璃炭材料,其特征在于:硼掺杂玻璃炭材料中的玻璃炭具有非晶或乱层结构。

3.按照权利要求1所述的硼掺杂玻璃炭材料,其特征在于:硼掺杂玻璃炭材料中的硼元素以碳化硼的形式存在,均匀分布在玻璃炭基质中。

4.一种权利要求1所述的硼掺杂玻璃炭材料的制备方法,其特征在于:采用化学气相共沉积工艺,以石墨作为沉积基体,沉积压力为常压或略高于1atm,压力范围为:1.013×105Pa~1.1×105Pa,反应温度为1100~1400℃,在达到设定的反应温度后,按比例同时通入反应气体:碳源、硼源和稀释气体,制备得到硼掺杂玻璃炭材料;

碳源为C1~C5的碳氢化合物或相应的卤代衍生物,卤代衍生物的化学式为CHaXb,a+b=4,其中X=F、Cl、Br或I;

硼源为卤化硼或硼烷,卤化硼化学式为BX3,其中X=F、Cl或Br;

碳源与硼源之摩尔比C/B为0.5~2。

5.按照权利要求4所述的硼掺杂玻璃炭材料的制备方法,其特征在于:反应气体通入反应器后反应分解,在基体上沉积生成硼掺杂玻璃炭材料,材料制备时间为0.5~10小时,根据沉积速率的不同调整沉积时间,获得具有不同厚度的硼掺杂玻璃炭涂层或块体材料。

6.按照权利要求4所述的硼掺杂玻璃炭材料的制备方法,其特征在于:稀释气体为氢气、氮气或氩气。

7.按照权利要求4所述的硼掺杂玻璃炭材料的制备方法,其特征在于:反应气体为碳氢气体、三氯化硼和氢气。

8.按照权利要求4所述的硼掺杂玻璃炭材料的制备方法,其特征在于:碳源占气体总流量的10~15%,硼源占气体总流量的9~25%,其余为稀释气或载气。

9.按照权利要求4所述的硼掺杂玻璃炭材料的制备方法,其特征在于:所制备的硼掺杂玻璃炭材料的起始氧化温度为800~900℃。

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