[发明专利]半导体清洗液管理装置及方法

权利要求书

1.一种半导体清洗液管理装置，其特征在于，包括：依次连接的储液单元(1)、浓度液位检测单元(2)、控制单元(3)和执行单元(4)，

所述储液单元(1)，用于储存清洗液；

所述浓度液位检测单元(2)，用于检测所述储液单元(1)中清洗液的浓度及液位，并将检测到的浓度数据及液位数据传输给所述控制单元(3)；

所述控制单元(3)，用于根据所述浓度数据及液位数据生成相应的控制信号，并将所述控制信号发送给所述执行单元(4)；

所述执行单元(4)，用于根据所述控制信号执行所述储液单元(1)的清洗液的排放、补充所述储液单元(1)的化学药剂、补充所述储液单元(1)的水、更换所述储液单元(1)的清洗液、回收反应腔体的清洗液、以及供液给反应腔体的动作。

2.如权利要求1所述的半导体清洗液管理装置，其特征在于，所述浓度液位检测单元(2)包括液位传感器(2-1)和用于检测浓度数据的化学分析仪(2-2)，所述化学分析仪(2-2)上的检测管伸入所述储液单元(1)中，所述液位传感器(2-1)设于所述储液单元(1)侧壁，所述液位传感器(2-1)和所述化学分析仪(2-2)与所述控制单元(3)连接。

3.如权利要求1所述的半导体清洗液管理装置，其特征在于，所述执行单元(4)包括：清洗液管(4-1)、补液管(4-2)、补水管(4-21)、废液管(4-3)、供液管(4-4)、换液管(4-11)和回收管(4-5)，所述补液管(4-2)的出口、所述补水管(4-21)的出口、所述换液管(4-11)的出口、以及所述回收管(4-5)的出口均伸入所述储液单元(1)中，所述清洗液管(4-1)设于所述储液单元(1)底端，所述清洗液管(4-1)上设有输液泵(4-6)，所述清洗液管(4-1)通过三通管分别与所述供液管(4-4)的进口和所述废液管(4-3)的进口连接，所述废液管(4-3)的进口设有气动阀(4-3a)，所述供液管(4-4)的进口设有气动阀(4-4a)，所述供液管(4-4)的出口设有气动阀(4-4b)，所述补液管(4-2)的出口设有气动阀(4-2a)，所述补水管(4-21)的出口设有气动阀(4-21a)，所述换液管(4-11)的出口设有气动阀(4-11a)，所述回收管(4-5)的出口设有气动阀(4-5a)，所述补液管(4-2)、补水管(4-21)、废液管(4-3)、供液管(4-4)、换液管(4-11)和回收管(4-5)上的所有气动阀均与所述控制单元(3)连接，所述输液泵(4-6)与所述控制单元(3)连接。

4.如权利要求3所述的半导体清洗液管理装置，其特征在于，所述供液管(4-4)上设有过滤器(4-9)。

5.如权利要求3所述的半导体清洗液管理装置，其特征在于，所述装置还包括温度检测单元(5)，与所述控制单元(3)连接，用于检测所述储液单元(1)中清洗液的温度数据，并将所述温度数据发送至所述控制单元(3)；

所述控制单元(3)，还用于根据所述温度数据生成相应的控制信号，并将所述控制信号发送给所述执行单元(4)；

所述执行单元(4)，还用于根据所述控制信号执行所述储液单元(1)的自动循环加热清洗液的动作。

6.如权利要求5所述的半导体清洗液管理装置，其特征在于，所述温度检测单元(5)包括温度检测器(5-1)，所述温度检测器(5-1)的检测管伸入所述储液单元(1)中，所述温度检测器(5-1)与所述控制单元(3)连接。

7.如权利要求5所述的半导体清洗液管理装置，其特征在于，所述执行单元(4)还包括：自动循环管(4-8)，所述自动循环管(4-8)上带有气动阀(4-8a)，所述自动循环管(4-8)的进口连接于所述供液管(4-4)上出口处的气动阀(4-4b)和所述过滤器(4-9)之间，所述自动循环管(4-8)的进口处的气动阀(4-4a)与所述过滤器(4-9)之间还设有清洗液加热装置(4-7)。