[发明专利]光学元件成型用模具、以及光学元件和该光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种光学元件成型用模具，其特征在于，具有基材和表面层，所述表面层含有从Pt、Ir、Re、Rh、Os和Ta中选择的至少1种元素和Si，所述表面层中Si的含量为2.5质量％以下。

2.如权利要求1所述的光学元件成型用模具，其特征在于，Si在表面层中的含量为0.01质量％～2.5质量％。

3.如权利要求1所述的光学元件成型用模具，其特征在于，表面层含有Pt和Ir的至少任一种元素、和Si。

4.如权利要求1所述的光学元件成型用模具，其特征在于，表面层的厚度为10nm～1000nm。

5.如权利要求1所述的光学元件成型用模具，其特征在于，基材由碳化钨和SiC的任一种形成。

6.一种光学元件的制造方法，其特征在于，使用光学元件成型用模具，将光学元件材料成型，所述光学元件成型用模具具有基材和表面层，所述表面层含有从Pt、Ir、Re、Rh、Os和Ta中选择的至少1种元素和Si，所述表面层中Si的含量为2.5质量％以下。

7.如权利要求6所述的光学元件的制造方法，其特征在于，光学元件材料含有Ti、W、Nb和Bi的至少任一种。

8.一种光学元件，其特征在于，采用使用光学元件成型用模具将光学元件材料成型的光学元件的制造方法来制造，所述光学元件成型用模具具有基材和表面层，所述表面层含有从Pt、Ir、Re、Rh、Os和Ta中选择的至少1种元素和Si，所述表面层中Si的含量为2.5质量％以下。