[发明专利]一种盛装硅料用的组合式坩埚无效

专利信息
申请号: 201110032280.0 申请日: 2011-01-30
公开(公告)号: CN102071457A 公开(公告)日: 2011-05-25
发明(设计)人: 胡动力;张涛;钟德京 申请(专利权)人: 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06
代理公司: 江西省专利事务所 36100 代理人: 杨志宇
地址: 338000 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 盛装 硅料用 组合式 坩埚
【权利要求书】:

1.一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:包括上罩(1),下坩埚

(2),上罩(1)叠放在下坩埚(2)的正上方,其中上罩(1)由上侧壁(3)围绕组成,下坩埚(2)包括下侧壁(4)与底板(5),下侧壁(4)围绕分布在底板的四周,上侧壁(3)、下侧壁(4)与底板(5)共同围成一个可放置物料的空腔。

2.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)与下坩埚(2)之间涂抹粘接剂(9)。

3.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)与下坩埚(2)的高度比范围在0.01:1-1:1。

4.如权利要求1或2或3所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:下坩埚(2)是由石英材料制成的。

5.如权利要求1或2或3所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)是由石英材料制成的。

6.如权利要求1或2或3所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)是由石墨、氮化硅、碳化硅或氮化硼材料制成的。

7.如权利要求1 所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:下坩埚(2)的下侧壁(4)与底板(5)之间,下侧壁(4)之间的连接是一体式无缝连接。

8.    如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)的上侧壁(3)之间的连接是一体式无缝连接。

9.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)的上侧壁(3)之间采用相互配合的螺钉螺孔固定方式连接。

10.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)的上侧壁(3)之间采用相互配合的槽榫固定方式连接。

11.如权利要求2所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:粘接剂(9)可以为硅溶胶与氮化硅的混合。

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