[发明专利]一种盛装硅料用的组合式坩埚无效
申请号: | 201110032280.0 | 申请日: | 2011-01-30 |
公开(公告)号: | CN102071457A | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 胡动力;张涛;钟德京 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 杨志宇 |
地址: | 338000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 盛装 硅料用 组合式 坩埚 | ||
1.一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:包括上罩(1),下坩埚
(2),上罩(1)叠放在下坩埚(2)的正上方,其中上罩(1)由上侧壁(3)围绕组成,下坩埚(2)包括下侧壁(4)与底板(5),下侧壁(4)围绕分布在底板的四周,上侧壁(3)、下侧壁(4)与底板(5)共同围成一个可放置物料的空腔。
2.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)与下坩埚(2)之间涂抹粘接剂(9)。
3.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)与下坩埚(2)的高度比范围在0.01:1-1:1。
4.如权利要求1或2或3所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:下坩埚(2)是由石英材料制成的。
5.如权利要求1或2或3所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)是由石英材料制成的。
6.如权利要求1或2或3所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)是由石墨、氮化硅、碳化硅或氮化硼材料制成的。
7.如权利要求1 所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:下坩埚(2)的下侧壁(4)与底板(5)之间,下侧壁(4)之间的连接是一体式无缝连接。
8. 如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)的上侧壁(3)之间的连接是一体式无缝连接。
9.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)的上侧壁(3)之间采用相互配合的螺钉螺孔固定方式连接。
10.如权利要求1所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:上罩(1)的上侧壁(3)之间采用相互配合的槽榫固定方式连接。
11.如权利要求2所述的一种盛装硅料用的组合式坩埚,其特征在于:粘接剂(9)可以为硅溶胶与氮化硅的混合。
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