[发明专利]单激励二维超声振动辅助超精密金刚石砂轮磨削装置

权利要求书

1. 单激励二维超声振动辅助超精密金刚石砂轮磨削装置，包括工作台，工作台上设有主轴箱，主轴箱通过主轴与金刚石砂轮连接，其特征在于，工作台上设有单激励二维超声振动系统。

2.如权利要求1所述的单激励二维超声振动辅助超精密金刚石砂轮磨削装置，其特征在于，所述单激励二维超声振动系统包括新型纵弯式变幅杆，变幅杆大端与压电换能器连接，压电换能器与超声波发生器连接，变幅杆下部设有支撑盘，支撑盘与设置于所述工作台上的支撑板连接；变幅杆小端与托板连接，托板另一端与设置于所述工作台上的定位板连接。

3.如权利要求2所述的单激励二维超声振动辅助超精密金刚石砂轮磨削装置，其特征在于，所述支撑盘支撑于变幅杆振动节点处，所述支撑板上设有带刻度的调节槽，支撑盘通过调节螺钉固定于调节槽上。