[发明专利]模组化冷却板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明提供一种模组化冷却板及其制造方法，尤指其技术上提供一种冷却板模组单元，可依照需求拼接成不同尺寸的冷却板，或可替换冷却板的部分损毁区块。

背景技术

一般PVD制程所使用的靶材常需要适时的进行散热降温以确保靶材正常反应，一般常见的靶材冷却方式为利用冷却板挖设流道，令冷却水流入并带走部分热量达到降温的效果。然而，若需要制作大面积冷却板，必须要准备制作大面积冷却板所需要的大面积的板材，但台湾并无制作大面积板材的机器，经常需要仰赖进口而耗费极大的成本购买制作大面积冷却板所需要的大面积板材再行加工制作成大面积冷却板，再者，冷却板若有其中的一冷却流道损毁，而导致需要汰换整个冷却板，不但浪费且不环保，又要花钱购买新的冷却板。

欲解决的技术问题点：为因应大面积冷却板的需求，必须要准备制作大面积冷却板所需要的大面积的板材，但台湾并无制作大面积板材的机器，必须先仰赖进口购买制作冷却板所需要的大面积板材来加工制作成大面积冷却板，以符合市场需求，再者，若因冷却板其中一部份流道损毁就必须要更换掉整个冷却板，不但需要花费成本来更换新的冷却板而且而使环境造成污染。

发明内容

本发明的目的在于提供提供一种模组化冷却板及其制造方法，其可依照需求拼接出不同大小的冷却板，并可使冷却板模组单元间的接合更平整，达到与大面积冷却板相同的功效，从而不需要仰赖进口购买制作大面积冷却板所需的大面积板材就可以拼接制作出大面积的冷却板，更不需要购买制作不同冷却板规格的机器以花费大量成本，而且，可仅替换损坏的冷却板模组单元，从而避免浪费，增进冷却板的寿命。

为实现上述目的，本发明公开了一种模组化冷却板的制作方法，其步骤包括：

S1、制作多个冷却板模组单元，每一个冷却板模组单元均包括一冷却板与至少一顶盖，该冷却板上挖设至少一沟槽，该沟槽上周缘处凹设有一嵌槽使得该顶盖可嵌入该嵌槽；

S2、透过一焊接手段将该顶盖与该冷却板结合以形成该冷却板模组单元的冷却水道；

S3、以具一搅拌头的一摩擦棒在两个以上该冷却板模组单元的接缝处间加压并高速旋转产生热能，其中，该搅拌头与该摩擦棒为不同轴心的设置以达到偏心旋转的效果，待材质软化后，缓慢移动并持续使该搅拌头高速旋转搅拌；

S4、最后取出该搅拌头完成该冷却板模组单元间的结合，形成大面积的冷却板。

其中，该焊接手段为使用偏心头的摩擦搅拌焊手段。

其中，该焊接手段为摩擦搅拌焊手段。

其中，该焊接手段为电子束焊接手段。

其中，该焊接手段为真空硬焊接手段。

其中，该冷却板模组单元选自于由铜材、铝材及钛材所组成的群组中的一种材质。

其中，该冷却板模组单元选自于由铜合金、铝合金及钛合金所组成的群组中的一种材质。

其中，该冷却板模组单元为轻金属。

一种根据上述模组化冷却板的制作方法所制造出的模组化冷却板，包含两个以上冷却板模组单元，该冷却板模组单元包含一冷却板与至少一顶盖，该冷却板上挖设至少一沟槽，该沟槽上周缘处凹设有一嵌槽，使该顶盖能容设于该冷却板的该嵌槽中以形成冷却水道，并透过一焊接手段结合该冷却板与该顶盖以形成该冷却板模组单元，将该冷却板模组单元相互使用偏心头的摩擦搅拌焊手段所形成大面积的该模组化冷却板。

通过上述结构，本发明的功效系透过冷却板模组单元拼接出不同大小的冷却板以因应市场需求，且改善以往因需要大面积冷却板而耗费成本仰赖进口购买材料的问题，且模组化冷却板单元间透过偏心搅拌头的摩擦搅拌焊手段可使接合更平整，拼接成大面积冷却板并达到与大片冷却板相同的功效，使厂商不需要花费成本购买生产不同规格冷却板的机器，且可将坏掉那块冷却板模组单元切割下来更替新的模组化冷却板以增进冷却板寿命，且不污染环境，改善习用因冷却板小部份坏掉而导致需要更换整片冷却板而导致浪费的问题。

附图说明

图1本发明的制作方法流程图。

图2本发明的冷却板模组单元拼接示意图。

图3本发明的冷却流道剖面示意图。

图4本发明的一实施例示意图。

具体实施方式